한국전기연구원, ‘원통형 나노노광장비 원천기술’세계 최초 개발

차세대 반도체 및 디스플레이·태양전지 등의 양산에 필요한 최첨단 핵심기술임에도 불구하고 그동안 난공불락으로 여겨졌던 꿈의 ‘나노노광장비(원통형 대면적 나노패턴 인쇄장비)’원천기술이 유럽, 일본 등 세계 굴지의 기업·연구소에 앞서 국내 연구진에 의해 세계 최초로 개발됐다. 한국전기연구원은 6월 16일 밀양시, 부산대와 공동으로 부산대 내이캠퍼스(구 밀양대학교) 내에 ‘밀양나노센터’개소식을 갖고 오현석 박사팀이 3년에 걸친 연구 끝에 개발한 원통형 대면적 나노패턴 인쇄장비(나노노광장비)의 원천기술인 ‘자기부상기술을 응용한 원통형 나노스테이지와 이를 적용한 나노노광장치’를 공개했다. 이러한 나노노광장치를 이용하면 마치 롤러로 굴리듯이 차세대 반도체 소자나 디스플레이용 필름 및 태양전지의 기판 등에 나노패턴을 대면적으로 연속 인쇄할 수 있는 원통금형을 제작할 수 있다.