¹®ÅÎÀü¾Ð Á¶Àý °¡´ÉÇÑ °í¼º´É °íºÐÀÚ Àý¿¬¸· °³¹ß À¯±âÀüÀÚ ¼ÒÀÚ | |
2016-11-01 | |
¹®ÅÎÀü¾Ð Á¶Àý °¡´ÉÇÑ °í¼º´É °íºÐÀÚ Àý¿¬¸· °³¹ß À¯±âÀüÀÚ ¼ÒÀÚ ¼º´É ÃÖÀûÈ ¹× ¹Ì·¡Çü ÀüÀÚ±â±â Çٽɱâ¼ú·Î È°¿ë±â´ë KAIST(ÃÑÀå °¼º¸ð) »ý¸íÈÇаøÇаú ÀÓ¼º°© ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀÌ À¯±â ¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ÀúÀü·ÂÀ¸·Î ±¸µ¿ÇÏ°í, ¼º´ÉÀ» ÃÖÀûÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ °íºÐÀÚ Àý¿¬¸· ¼ÒÀ縦 °³¹ßÇß´Ù°í 10¿ù 19ÀÏ ¹àÇû´Ù. À̹ø ¿¬±¸´Â ÇâÈÄ À¯±â ÀüÀÚ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É ÃÖÀûÈ ¹× ´Ù¾çÇÑ ¹Ì·¡Çü ÀüÀÚ±â±âÀÇ ÇÙ½É ±â¼ú·Î È°¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ¹Ú°ü¿ë ¹Ú»ç°úÁ¤ ÇлýÀÌ 1ÀúÀÚ·Î Âü¿©ÇÑ À̹ø ¿¬±¸ °á°ú´Â Àç·áºÐ¾ß ÇмúÁö ‘¾îµå¹ê½ºµå Æã¼Å³Î ¸ÓƼ¸®¾óÁî(Advanced Functional Materials)’ 9¿ù 26ÀÏÀÚ µÚÇ¥Áö ³í¹®¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù. °³½ÃÁ¦¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø¹ý ±ÕÀϵµ ³ô°í ºÒ¼ø¹° ÃÖ¼ÒÈ »ç¹°ÀÎÅÍ³Ý ½Ã´ë¸¦ ¸ÂÀÌÇÏ¸ç °¡º±°í À¯¿¬ÇÑ À¯±âÀüÀÚ¼ÒÀÚ°¡ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó À¯±âÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ »ó¿ëȸ¦ À§ÇØ ¼º´É Çâ»ó ¹× ÀúÀü·Â ±¸µ¿À» À§ÇÑ ³ë·ÂÀÌ °è¼ÓµÇ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ Àü·Â¼Ò¸ð¸¦ ÁÙÀ̱â À§Çؼ´Â ¸Å¿ì ¾ãÀº µÎ²²¿¡¼µµ ¿ì¼öÇÑ Àý¿¬ Ư¼ºÀ» °®´Â ¼ÒÀç °³¹ß°ú ¼ÒÀÚÀÇ ¹®ÅÎÀü¾ÐÀ» ³·Ãß´Â ±â¼úÀÌ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ¹®ÅÎÀü¾ÐÀº Àü·ù°¡ È帣±â À§ÇÑ ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ Àü¾ÐÀ» ¶æÇÑ´Ù. ±âÁ¸ À¯±â ¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅÍ¿¡¼´Â ¹®ÅÎÀü¾Ð Á¶ÀýÀ» À§ÇØ Àý¿¬¸·°ú ¹ÝµµÃ¼ »çÀÌ¿¡ Ç¥¸é󸮸¦ ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ» ÁÖ·Î ÀÌ¿ëÇß´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ´Â ÀüÇÏÀ̵¿µµ µî ¼ÒÀÚÀÇ ´Ù¸¥ ¼º´ÉµéÀÌ °¨¼ÒµÇ´Â ÇÑ°è°¡ ÀÖ¾ú´Ù. µû¶ó¼ ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É ÃÖÀûȸ¦ À§Çؼ´Â ÀüÇÏ À̵¿µµ ¹× ¹®ÅÎÀü¾Ð µîÀ» µ¶¸³ÀûÀ¸·Î Á¶ÀýÇÏ´Â ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº ¹®Á¦ÇØ°áÀ» À§ÇØ ‘°³½ÃÁ¦¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø¹ý(initiated chemical vapordepositon : iCVD)’À» ÀÌ¿ëÇß´Ù. ÀÌ ¹æ¹ýÀº ±âü»óÅÂÀÇ ¹ÝÀÀ¹°À» ÀÌ¿ëÇØ °íºÐÀÚ¸¦ ¹Ú¸·ÇüÅ·ΠÇÕ¼ºÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ±ÕÀϵµ°¡ ³ô°í ºÒ¼ø¹°À» ÃÖ¼ÒÈÇÒ ¼ö ÀÖ¾î Àý¿¬¸·¼ÒÀç °³¹ß¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ, ±âü»ó¿¡¼ °øÁ¤ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö±â ¶§¹®¿¡ ¾×»ó °øÁ¤¿¡¼ ÇÕ¼ºÀÌ ºÒ°¡´ÉÇß´ø ´Ù¾çÇÑ °øÁßÇÕü(copolymer)¸¦ ÇÕ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ½±°Ô ºñÀ²À» Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ·¯ÇÑ ±âü»ó °øÁ¤ÀÇ ÀåÁ¡À» ÀÌ¿ëÇØ À¯±â ¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¹®ÅÎÀü¾Ð Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÑ »õ·Î¿î °øÁßÇÕü °íºÐÀÚ Àý¿¬¸·À» ÇÕ¼ºÇß´Ù. [±×¸² 1] À̹ø ¿¬±¸°¡ °ÔÀçµÈ ¾îµå¹ê½ºµå Æã¼Å³Î ¸ÓƼ¸®¾óÁî Ç¥Áö³í¹® ÀÓ¼º°© ±³¼ö ÀÌ·¸°Ô ÇÕ¼ºµÈ Àý¿¬¸·Àº ±Ø¼ºÀÌ ´Ù¸¥ µÎ °¡ÁöÀÇ ´Ü·®Ã¼¸¦ »ç¿ëÇϴµ¥, Ç×°ø´ëÇб³ Ȳ¿Ï½Ä ±³¼öÆÀ°ú Àü±âÀû Ư¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÑ °á°ú, ƯÁ¤ ´Ü·®Ã¼ÀÇ ºñÀ²¿¡ µû¶ó Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¹®ÅÎÀü¾ÐÀÌ Á¶ÀýµÊÀ» È®ÀÎÇß´Ù. ¶ÇÇÑ, ÀÌ °øÁßÇÕüÀÇ °íºÐÀÚ Ç¥¸é¿¡ ´Ù¸¥ °íºÐÀÚ¸¦ ¾ã°Ô µ¡¾º¿öµµ ¿©ÀüÈ÷ ¹®ÅÎÀü¾ÐÀÌ Á¶ÀýµÇ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº µ¿ÀÏÇÑ °øÁ¤À¸·Î °øÁßÇÕü Ç¥¸é¿¡ 3³ª³ë¹ÌÅÍ Á¤µµÀÇ ¸Å¿ì ¾ãÀº µÎ²²ÀÇ ¹«±Ø¼º °íºÐÀÚ¸¦ µµÀÔÇß´Ù. ±× °á°ú ¹«±Ø¼º °íºÐÀÚ°¡ ÀüÇÏ À̵¿µµ¸¦ À¯ÁöÇØÁÖ´Â µ¿½Ã¿¡ ¹®ÅÎÀü¾Ð¸¸ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î Àý¿¬¸· ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ Àý¿¬¸·Àº 20³ª³ë¹ÌÅÍÁ¤µµÀÇ µÎ²²¿¡¼µµ ¿ì¼öÇÑ Àý¿¬Æ¯¼ºÀ» °¡Á® 3V(º¼Æ®)ÀÌÇÏÀÇ ÀúÀü·Â ±¸µ¿ Áß¿¡µµ ¼º´É ÀúÇÏ ¾øÀÌ ¹®ÅÎÀü¾Ð¸¸ ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÓ¼º°© ±³¼ö´Â “»ó´ëÀûÀ¸·Î ³ôÀº À¯±â ¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ÀüÇÏ À̵¿µµ¸¦ À¯ÁöÇÏ¸ç ¹®ÅÎÀü¾Ð¸¸À» µ¶¸³ÀûÀ¸·Î Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î ±â¼ú”À̶ó¸ç “ÀúÀü·Â ±¸µ¿ÀÌ °¡´ÉÇÑ À¯±â ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ »ó¿ëȸ¦ ¾Õ´ç±æ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù”°í ¸»Çß´Ù. À̹ø ¿¬±¸´Â »ï¼º¹Ì·¡±â¼úÀ°¼ºÀç´ÜÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¼öÇàµÆ´Ù. [±×¸² 2] ¿¬±¸¿¡¼ °³¹ßµÈ Àý¿¬¸· ½Ã½ºÅÛÀÌ Àû¿ëµÈ À¯±â¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅÍ ±¸Á¶ ¹× Àü±âÀû Ư¼º ¿ë¾î¼³¸í 1. °³½ÃÁ¦¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø(Initiated chemical vapour deposition, iCVD) ´Ü·®Ã¼(monomer)¿Í °³½ÃÁ¦(initiator)¸¦ ±âÈÇÏ¿© ÀúÁø°øÀÇ ¹ÝÀÀ±â ¾È¿¡ ÁÖÀÔÇÏ°í, ÁÖÀÔµÈ °³½ÃÁ¦¸¦ ¿¿¡³ÊÁö·Î È°¼ºÈ½ÃÄÑ °íºÐÀÚ¸¦ Çʸ§ÇüÅ·ΠÇÕ¼ºÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ °íºÐÀÚ ÇÕ¼º¹æ½Ä°ú´Â ´Þ¸®, ¿ë¸Å(solvent)³ª ÷°¡Á¦ (additive)¸¦ ÇÊ¿ä·Î ÇÏÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡ ³ôÀº ¼øµµ¸¦ °¡Áö´Â °íºÐÀÚ¸¦ ½±°Ô ÇÕ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ ÀåÁ¡ÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ, ³·Àº °øÁ¤¿Âµµ·Î Á¾ÀÌ¿Í °°Àº ÈÇз¹°¸®Àû Àڱؿ¡ ¾àÇÑ ¹°Áú À§¿¡µµ °íºÐÀÚ¸¦ µµÆ÷ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. 2. Àý¿¬¸·(insulator) µµÃ¼, ¹ÝµµÃ¼¿Í ´Þ¸® ÀüÀÚ ¶Ç´Â Á¤°øÀÇ È帧À» ¸·¾ÆÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ¹°Áú. Àý¿¬¸·Àº ¼ÒÀÚ³»ºÎ¿¡¼ °¡Àå ³ÐÀº ¸éÀûÀ» Â÷ÁöÇϸ鼵µ, µÎ²²¿¡ µû¶ó ±× Àý¿¬¼º´ÉÀÌ ¹Î°¨ÇÏ°Ô º¯Çϴ Ư¡ÀÌ Àֱ⠶§¹®¿¡ ÀüÀÚ¼ÒÀÚ¿ë Àç·á Áß¿¡¼µµ Áß¿äÇÏ°Ô °³¹ßµÇ¾îÁö´Â Àç·áÀÌ´Ù. 3. Æ®·£Áö½ºÅÍ & Àü°èÈ¿°úÆ®·£Áö½ºÅÍ Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â Àü·ùÀÇ ÁõÆøÀÛ¿ë°ú ½ºÀ§Äª ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ·Î, ICĨ, µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í °°Àº ÀüÀÚ ±â±âÀÇ ÇÙ½É ±¸¼º¿ä¼Ò°¡ µÇ´Â Áß¿äÇÑ ¼ÒÀÚ´Ù. Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â ±¸µ¿¿ø¸®¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ Á¾·ù·Î ³ª´µ´Âµ¥, ÀÌ Áß Àü°èÈ¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ(FET)´Â Åë»óÀûÀ¸·Î °ÔÀÌÆ®, ¼Ò½º, µå·¹ÀÎ Àü±Ø°ú ¹ÝµµÃ¼, Àý¿¬¸·À¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ´Ù. FET´Â °ÔÀÌÆ® Àü±Ø¿¡ Àü¾ÐÀ» °É¾î ¹ÝµµÃ¼Ãþ »çÀÌ¿¡ ÀüÀÚ ¶Ç´Â Á¤°øÀÌ È带 ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ´Â ¿ø¸®·Î Àü·ù¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â Æ®·£Áö½ºÅÍÀÌ°í, ÀúÀü·Â ±¸µ¿À» À§Çؼ´Â Àý¿¬¸·ÀÇ µÎ²²¸¦ Àý¿¬Æ¯¼ºÀÌ À¯ÁöµÇ´Â ÇÑ ÃÖ´ëÇÑ ¾ã°Ô °¡Á®°¡°í ¹®ÅÎÀü¾ÐÀÌ ÀÛÀº °ÍÀÌ À¯¸®ÇÏ´Ù. 4. ¹®ÅÎÀü¾Ð(Threshold voltage) Æ®·£Áö½ºÅÍ¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ÃþÀ¸·Î Àü·ù°¡ È帣±â À§ÇØ °ÔÀÌÆ® Àü±Ø¿¡ °É¾îÁà¾ß ÇÏ´Â ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ Àü¾ÐÀÌ´Ù. < Energy News > |
|