서론최근 들어 생산효율 향상을 위해 생산라인의 고도화가 급속히 진전되어 반도체·액정제조공장 등에는 순시전압저하(순저)·정전이 생산라인 정지에 따른 불량품의 발생과 생산기회 손실을 낳는 막대한 피해를 주고 있다.일본의 전력공급신뢰도는 세계 최고 수준이고, 정전이라는 현상은 전국 평균으로 몇 십 년에 한번 일어난다.그러나 순저는 대부분이 뇌 등의 자연현상이 원인이고, 송전선 피뢰대책 등을 줄이기 위한 시책은 최대한 되어 있지만 연 20회 이상 발생하는 지역도 드물지 않다. 또 기후조건이 악화함에 따라 장래에는 순저의 발생빈도가 높아질 가능성도 걱정된다. 한편 반도체 공장으로 대표되는 최신식 공장에서는 24시간 365일 가동을 전제로 생산성 향상과 생산설비 고성능화, 시스템 연동·복합화가 일손을 덜게 되어 생산설비 정지에 의한 불량품의 발생과 생산기회손실은 막대한 피해가 되고, 순저대책의 중요성은 매년 높아져 가고 있다.순저의 발생실태순저(전압딥)에 관한 조사연구는 ‘순시전압저하대책’(전협연 제 46권 제 3호 1990년)에 따른 전국 규모로 실시되고 있다. 최근 순저만이 아니라 전력품질전반에 종합적 파악, 국내규격·기준류 국제규격종합화의 흐름과 수요가에 대한 설명책임의 배려에서, 2003년에 전협연 ‘배전계통전력품질기술전문위원회’가 조직되어 IEC규격에 따른 측정방법에 의해 실시되었다.당 보고서에 따르면 2003년 6월부터 10개월간, 전국 102사이트에서 실시되고, 1 사이트당 순저발생회수는 연 9.1회라는 결과를 얻었다. 이것은 1990년 조사 시와 거의 동일한 결과이고, 순저 발생빈도는 현재도 변하지 않는 것을 알았다.한편, 순저에 의해 기기측이 영향을 받을지 어떨지는 내량으로 나타내는 것으로, 컴퓨터 기기의 내량기준인 ITIC(Information Technology Industry Council)커브, CBEMA(Computer and Business Equipment Manufactuer’s Association)커브, 또한 반도체제조장치에 특화한 내량기준인 SEMI F47(Semiconductor Equipment and Materials International)이 있다. 순저의 측정결과를 이 내량 커브에 플롯한 것을 <그림 1>에 나타낸다.