Æ÷Ä¿½º // ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º¿Í ¸¶±×³×ƽ½º¸¦ À¶ÇÕÇÑ ÆÄ¿ö ¸¶±×³×ƽ½º | |
2024-10-23 | |
ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º¿Í ¸¶±×³×ƽ½º¸¦ À¶ÇÕÇÑ ÆÄ¿ö ¸¶±×³×ƽ½º ´ë¿ë·® °íÁÖÆÄ·Î ÇØ°áÇÒ °úÁ¦ »êÀû…¿¬±¸ Áö¼Ó ÇÊ¿ä ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ȸ·Î´Â Àü±âÀÚµ¿Â÷ÀÇ ±¸µ¿ ¹æ½Ä ¹× Á¤º¸±â±âÀÇ Àü¿ø¿¡ ¸¹ÀÌ ¾²ÀδÙ. ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º Àڱ⸦ ȸ·Î ³» ¸ðÅÍ ±¸µ¿À¸·Î »ç¿ëÇÒ °æ¿ì, ±×°÷À» È帣´Â Àü·ù ¹× Àΰ¡µÇ´Â Àü¾ÐÀº ÀδöÅÍ, ¹ÝµµÃ¼, ¸ðÅÍ¿¡µµ ¼ø½Ä°£¿¡ ÆÛÁö¹Ç·Î ÀÚ±â Ư¼º°ú ȸ·Î, ¸ðÅÍ Æ¯¼ºÀÌ ÀüÀÚ±âÀûÀ¸·Î µ¿½Ã¿¡ ÀϾÙ. ƯÈ÷ ¼ÁöÀü¾Ð °°Àº µ¹¹ß¼º ´ëÀü¾ÐÀÌ Àΰ¡µÉ ¶§¿¡´Â ÀÚ±â Ư¼º°ú ȸ·Î Ư¼ºÀÌ ¼·Î ¹ÐÁ¢ÇÑ °ü·ÃÀ» ¸Î´Â´Ù. ±×·¸±â¿¡ °³¹ßµÈ Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽º´Â ȸ·Î ³»¿¡¼ È®½ÇÈ÷ °èÃø, Çؼ® Æò°¡µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. µ¿½Ã¿¡ Æò°¡µÈ µ¥ÀÌÅÍ´Â ÀÚ±â Àç·á, Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽ºÀÇ ÇâÈÄ °³¹ß Áöħ¿¡ Á¦´ë·Î ¹Ý¿µµÇ¾î¾ßÁö¸¸ ºñ·Î¼Ò À¯¿ëÇÑ Àç·á, µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¿¬±¸ °³¹ßÀ̶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. Á¤¸® ÆíÁýºÎ ÀÚ·á JEEE ¿Ü ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ȸ·Î´Â ÇöÀç Àü±âÀÚµ¿Â÷ÀÇ ±¸µ¿ ¹æ½Ä ¹× Á¤º¸±â±âÀÇ Àü¿ø¿¡ ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¸ÓÁö¾Ê¾Æ Àü±â¿¡³ÊÁöÀÇ 80%°¡ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º¸¦ ÅëÇØ ÀÌ¿ëµÉ °ÍÀ̶ó´Â ¸»µµ ÀÖ´Ù. [±×¸² 1]Àº ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ȸ·ÎÀÇ ÀÏ·Ê·Î Àü±âÀÚµ¿Â÷¿¡ ¾²ÀÌ´Â ¸ðÅÍ ±¸µ¿ ½Ã½ºÅÛÀ» ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù. ¸ðÅÍ¿¡´Â ½ºÅ×ÀÌÅÍ ÄÚ¾î(Stator Core) µî¿¡ ¿¬ÀÚ¼º Àç·á°¡, ·ÎÅÍ(Rotor)ÀÇ °èÀÚ¿¡ °æÀÚ¼º Àç·á°¡ ¾²¿© ¸ðÅÍ Àڱ⸦ Çü¼ºÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¸ðÅÍÀÇ Àü·ù¸¦ Á¦¾îÇϰųª Â÷·® ³» º¸Á¶±â±âÀÇ Àü¿ø¿¡ °ø±ÞÇϱâ À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ȸ·Î°¡ ¾²ÀδÙ. ¿©±â¿¡´Â ¾ç¹æÇâ ÃÊÆÛ(Chopper)¿¡ ÀδöÅÍ, ÀιöÅÍ Ãâ·Â Ãø¿¡ LC ÇÊÅÍÀÇ ÀδöÅÍ, ¹èÅ͸® Ãâ·ÂºÎ¿¡ ÃÊÅ© ÄÚÀÏ, º¸Á¶±â±â ¸ðÅÍ¿Í Á¶¸í, Á¤º¸±â±âÀÇ Àü¿ø °ø±ÞÀ» À§ÇÑ DC-DC ÄÁ¹öÅÍ¿¡ °íÁÖÆÄ º¯¾Ð±â µî ¸¹Àº Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽º°¡ ¾²¿© ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º Àڱ⸦ Çü¼ºÇÑ´Ù. ÀÌó·³ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ȸ·Î ¾È¿¡´Â ¸¹Àº Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽º°¡ ¾²À̸ç, ±× ±â¼úÀÌ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º »çȸ¸¦ ½ÇÇöÇÏ·Á´Â Áö±Ý¿¡ ¿Í¼ Å« °ü½ÉÀ» ²ø°Ô µÇ¾ú´Ù. ÆÄ¿ö ¸¶±×³×ƽ½ºÀÇ ±âÃÊ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ȸ·Î¿¡¼ Â÷ÁöÇÏ´Â Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽ºÀÇ ºñÁßÀ» [±×¸² 2]ÀÇ ½Â¾Ð ÃÊÆÛ È¸·Î¸¦ ¿¹·Î µé¾î ¼³¸íÇÑ´Ù. ½ºÀ§Äª µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ON/OFF µ¿ÀÛ¿¡ ÀÇÇØ ½Â¾Ð ¸®¾×ÅÍÀÇ ´ÜÀÚÀü¾Ð VLÀÌ [±×¸² 2-(b)]¿Í °°ÀÌ º¯Çϸç, ¹èÅ͸®ÀÇ Àü±â¿¡³ÊÁö¿¡¼ ¿¡³ÊÁö¸¦ Èí¼öÇÏ°í ºÎÇÏ·Î ¿¡³ÊÁö¸¦ ¹æÃâÇÑ´Ù. ÀϽÃÀûÀ¸·Î ¿¡³ÊÁö¸¦ ÃàÀûÇÏ´Â ¾ç¿¡ °ÅÀÇ ºñ·ÊÇØ ¸®¾×ÅÍÀÇ Å©±â°¡ °áÁ¤µÇ¸ç, ÃàÀû ¿¡³ÊÁö¾çÀº ½ºÀ§Äª ÁÖÆļö¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù. Áï, ½ºÀ§Äª ÁÖÆļö°¡ ³ôÀ¸¸é ±×¿¡ ºñ·ÊÇØ ¸®¾×Å͵µ ÀÛ¾ÆÁø´Ù. Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽º´Â ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ȸ·ÎÀÇ ¿ÜÇü, Áß·®¿¡¼ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀÌ ³ô±â ¶§¹®¿¡ °íÁÖÆÄÈ´Â ¼ÒÇü °æ·®È¿¡ Å« µµ¿òÀÌ µÈ´Ù. ±×·¯³ª °íÁÖÆÄȸ¦ ÇÏ´Â µ¥ Ä¿´Ù¶õ À庮Àº ¹Ù·Î °íÁÖÆÄ ÀÚ¼º Àç·áÀÌ´Ù. [±×¸² 3]Àº °¡·ÎÃà¿¡ ÁÖÆļö, ¼¼·ÎÃà¿¡ ±â±âÀÇ ´ÜÀ§ ºÎÇÇ ¿ë·®À» ³ªÅ¸³½ ±×·¡ÇÁ´Ù. °íÁÖÆÄȸ¦ ÇÏ¸é ¿ÜÇüÀº ÀÛ¾ÆÁöÁö¸¸, ÀÏÁ¤ ÁÖÆļö¸¦ ³ÑÀ¸¸é Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¹ß¿ ¶§¹®¿¡ ¼ÒÇüÈ°¡ Èûµé¾îÁø´Ù. ¿©±â¼ ÁÖÆļö¸¦ ´õ ³ôÀÌ¸é ¼ö·© µî ³Ã°¢±â°¡ ´õ ÇÊ¿äÇØÁ® ¿ÀÈ÷·Á ´ëÇüÈ°¡ µÇ´Â Å¿¿¡, ÀÏÁ¤ ÁÖÆļö¸¦ ³ÑÀ¸¸é ÀÚ¼ºÃ¼¸¦ ¾²Áö ¾Ê´Â ÀδöÅ͸¦ »ç¿ëÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ¸¸¾à °íÁÖÆÄ¿ª¿¡¼ ¹ß¿À» ¾ïÁ¦ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÚ¼ºÃ¼°¡ ÀÖ´Ù¸é ÇÑ ÀÚ¸´¼ö ÀÌ»óÀÇ ¼ÒÇüȸ¦ ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. [±×¸² 4]´Â 20kVA UPS ½Ã½ºÅÛÀÇ Çٽɱâ±â¿¡¼ °¢ ºÎÇ°ÀÇ ºñ¿ëÀ» ºÐ¼®ÇÑ °ÍÀ¸·Î, Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽ºÀÎ ÀδöÅÍ°¡ ´Ù¸¥ ºÎÇ°À» ¾ÐµµÇÏ°í °¡Àå ³ôÀº ºñÀ²À» Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¸µí GaN-FET³ª SiC µð¹ÙÀ̽ºÀÇ °³¹ß ½Ç¿ëÈ »óȲÀ» °¨¾ÈÇÒ ¶§ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ±â±âÀÇ ¼ÒÇü °æ·®È¸¦ ÀúÇØÇÏ´Â ¿äÀÎÀº ‘°íÁÖÆÄ Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽º’¶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÇÑÆí, 1990³â´ë±îÁöÀÇ °ú°Å ¿¬±¸ °³¹ß »óȲÀ» º¸¸é ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º¿Í ÆÄ¿ö ¸¶±×³×ƽ½ºÀÇ °ü°è°¡ Áö±Ý°ú´Â ¸¹ÀÌ ´Ù¸£´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ´ç½Ã¿¡´Â GaN, SiC Àç·áµµ ¾ø°í MOS-FETµµ ÃæºÐÈ÷ ½Ç¿ëȵÇÁö ¾ÊÀº ¹Ý¸é, °íÁÖÆÄ ÀÚ±â ÂÊÀº 5MHz Á¤µµ±îÁö ÀÚ±â Ư¼ºÀÌ ¿¬±¸µÇ°í ÀÖ¾ú´Ù. Áï ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½ºº¸´Ù ÆÄ¿ö ¸¶±×³×ƽ½ºÀÇ ±â¼úÀÌ Å©°Ô ¾Õ¼ ³ª°£ ½Ã±â¿´´Ù. µÑÀÇ °ü°è¸¦ [±×¸² 5]¸¦ ÅëÇØ ´Ù½Ã »ìÆ캸¸é, À§ÂÊÀº ÀÚ¼ºÃ¼ È帧, ¾Æ·¡ÂÊÀº ¹ÝµµÃ¼ È帧À» Á¦Á¶ ÇÁ·Î¼¼½ººÎÅÍ Àç·á, ±â±â, ÀÀ¿ë±îÁö ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù. ¿©±â¿¡´Â À̸¥¹Ù Àü±â·±â°è ÂÊ°ú ¹°¸®·Àç·á ÂÊ »çÀÌ¿¡ º¸ÀÌÁö ¾Ê´Â Ä¿´Ù¶õ º®ÀÌ ÀÖ´Â °Íó·³ º¸ÀδÙ. µÑÀÇ Â÷ÀÌ´Â »ç°í¹æ½ÄÀÇ Â÷À̶ó ÆÇ´ÜÇÏ°í Á¤¸®ÇÑ °ÍÀÌ [Ç¥ 1]ÀÌ´Ù. ´ë»ó¹°, ¹°¼º°ªÀÇ Ãë±Þ ÀüÁ¦°¡ ´Ù¸£¸ç, Àç·á ÂÊÀº ½ÇÇèÀ» ÅëÇÑ µ¥ÀÌÅͺ£À̽º¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ³íÀÇÇÏ´Â ‘±Í³³¹ý’ÀÎ ¹Ý¸é, Àü±â ÂÊÀº ¸Æ½ºÀ£ ¹æÁ¤½Ä¿¡¼ µµÃâÇÏ´Â ‘¿¬¿ª¹ý’À̶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ¹ýÀÇ Â÷ÀÌ°¡ º¸ÀÌÁö ¾Ê´Â Ä¿´Ù¶õ º®ÀÇ Á¤Ã¼¶ó°íµµ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÆÄ¿ö ¸¶±×³×ƽ½ºÀÇ ÇöÀç¿Í °úÁ¦ ¢¹ Àü±â-ÀÚ±âÀÇ ÀÏ°üµÈ °³¹ß üÁ¦ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º Àڱ⸦ ȸ·Î ³» ¸ðÅÍ ±¸µ¿À¸·Î »ç¿ëÇÒ °æ¿ì, ±×°÷À» È帣´Â Àü·ù ¹× Àΰ¡µÇ´Â Àü¾ÐÀº ÀδöÅÍ, ¹ÝµµÃ¼, ¸ðÅÍ¿¡µµ ¼ø½Ä°£¿¡ ÆÛÁö¹Ç·Î ÀÚ±â Ư¼º°ú ȸ·Î, ¸ðÅÍ Æ¯¼ºÀÌ ÀüÀÚ±âÀûÀ¸·Î µ¿½Ã¿¡ ÀϾÙ. À̸¦ ‘ÀüÀÚ±âÀû µ¿½Ã¼º’À̶ó°í ÇÑ´Ù. ƯÈ÷ ¼ÁöÀü¾Ð °°Àº µ¹¹ß¼º ´ëÀü¾ÐÀÌ Àΰ¡µÉ ¶§¿¡´Â ÀÚ±â Ư¼º°ú ȸ·Î Ư¼ºÀÌ ¼·Î ¹ÐÁ¢ÇÑ °ü·ÃÀ» ¸Î´Â´Ù. ±×·¸±â¿¡ °³¹ßµÈ Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽º´Â ȸ·Î ³»¿¡¼ È®½ÇÈ÷ °èÃø, Çؼ® Æò°¡µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. µ¿½Ã¿¡ Æò°¡µÈ µ¥ÀÌÅÍ´Â ÀÚ±â Àç·á, Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽ºÀÇ ÇâÈÄ °³¹ß Áöħ¿¡ Á¦´ë·Î ¹Ý¿µµÇ¾î¾ßÁö¸¸ ºñ·Î¼Ò À¯¿ëÇÑ Àç·á, µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¿¬±¸ °³¹ßÀ̶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ [±×¸² 6]°ú °°ÀÌ Àç·á-ȸ·ÎÀÇ ÀÏ°üµÈ ¿¬±¸ °³¹ß üÁ¦°¡ ¹Ù¶÷Á÷ÇÏ´Ù. ¿©±â¼´Â »ç¹°ÀÇ È帧 ¹× ±×¿¡ µÚµû¸£´Â °èÃø µ¥ÀÌÅÍ»Ó ¾Æ´Ï¶ó °¢ ´Ü°èÀÇ Çö»óÀ» ÀÚ¼¼È÷, ¸î¸î °¡Á¤ »çÇ×Àº ÀÖ°ÚÁö¸¸ ¼öÄ¡ Çؼ®µµ ÇÔ²² ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ´Ù. ¢¹ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½ºÀÇ ¸ÖƼ ŸÀÓ ¸ðÅÍ ±¸µ¿À» »ó¿ë ÁÖÆļö¿¡¼ ÇÒ ¶§¿Í ºñ±³ÇØ Àü·Â¿ë ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ½ºÀ§Äª µ¿ÀÛÀ» ÇÏ´Â ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ±¸µ¿¿¡¼´Â ÅäÅ©¸¦ ³»´Â 50Hz Á¤µµÀÇ ±âº» ÁÖÆļö ¼ººÐ ÀÌ¿Ü¿¡ °íÁ¶ÆÄ ¼ººÐÀ» ÁÙÀÌ°íÀÚ 5kHz Á¤µµÀÇ Ä³¸®¾î ÁÖÆļö¸¦ ¾´´Ù. GaN µð¹ÙÀ̽º °°Àº °íÀÀ´ä ¹ÝµµÃ¼·Î ½ºÀ§Äª½ÃÅ°¸é 5MHz Á¤µµÀÇ ºÎÇÏ °øÁøÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¸µÀ×(ringing) Çö»óÀÌ ¹ßÇö »õ Á¶°Ç¿¡ µû¶ó¼´Â ¸ðÅÍ ÄÚ¾î¼ÕÀ» Áõ´ë½ÃŲ´Ù. ½ºÀ§Äª ½Ã »ó½Â ½Ã°£Àº 1ns, Áï 1GHz Á¤µµÀÇ °íÁ¶ÆÄ ¼ººÐÀ» °¡Áö¸ç, ÀÌ »ó½Â ½Ã°£ ÆÄÇüÀ» Á¤È®È÷ Ç¥ÇöÇÏ·Á¸é 10¹è, Áï 10GS/sÀÇ »ùÇøµ ÁֱⰡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ´Ù½Ã ¸»ÇØ ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ¿©ÀÚ¿¡¼´Â GaN µð¹ÙÀ̽º·Î 50Hz Á¤µµÀÇ ¸ðÅ͸¦ ±¸µ¿ÇÒ °æ¿ì [±×¸² 7]°ú °°ÀÌ GHz Á¤µµ±îÁöÀÇ ÁÖÆļö ¿µ¿ª±îÁöµµ °í·ÁÇÏ°Ô µÈ´Ù. MHz´ë ¸µÀ× Çö»óÀ» ÀüÀÚ°è ¼öÄ¡ Çؼ®À¸·Î Ç¥ÇöÇÏ·Á¸é °¡·É 50Hz Á¤µµÀÇ ¸ðÅÍ ±¸µ¿ÀÌ¶óµµ º¯À§ Àü·ù±îÁö °í·ÁÇØ¾ß ÇÑ´Ù´Â ¹ßÇ¥µµ ÀÖ´Ù. °Ô´Ù°¡ 1ns Á¤µµÀÇ Àü¾Ð »ó½ÂÀº ¼öGHzÀÇ °íÁ¶ÆÄ ¼ººÐÀ» °¡Áö¸ç, ÀÚµ¿ ¿îÀü °°Àº ÀüÆÄ Åë½Å¿¡¼´Â Å« ³ëÀÌÁî¿øÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×µ¿¾È Àü±â°øÇп¡¼´Â ¿¡³ÊÁö ÂÊ°ú Åë½Å ÂÊÀ» [±×¸² 8]°ú °°ÀÌ ºÐ·ùÇß´Ù. Áï ‘ÀÚ±â Æ÷È¿Í À̹漺, ÀÀ·ÂÀÇ ¿µÇâ µîÀº °í·ÁÇÏÁö¸¸ º¯À§Àü·ù´Â ¹«½ÃÇØ ¿Â’ ¿¡³ÊÁö ÂÊ°ú ‘º¯À§Àü·ù´Â °í·ÁÇÏÁö¸¸ ÀÚ±â Æ÷È¿Í À̹漺, ÀÀ·ÂÀÇ ¿µÇâ µîÀº ¹«½ÃÇØ ¿Â’ Åë½Å ÂÊÀÌ´Ù. ±×·±µ¥ ¿©±â¿¡ SiC/GaNÀ̶ó´Â °íÁÖÆÄ ´ëÀü·Â¿¡ ÀÀ¿ë °¡´ÉÇÑ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ÃâÇö ¹× EV »çȸ, ºÐ»êÀü¿ø °°Àº »çȸÀû ¿ä±¸·Î °íÁÖÆÄ ¹× ´ëÀü·Â ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ÀÀ¿ëÀÌ º»°Ý鵃 µíÇÏ´Ù. ±×·¸°Ô µÇ¸é § ¼öÁØÀÇ ³íÀÇ°¡ ÇÊ¿äÇϸç, º¯À§Àü·ù¸¦ °í·ÁÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ÀÚ±â Æ÷È¿Í À̹漺, ÀÀ·ÂÀÇ ¿µÇâµµ °í·ÁÇØ¾ß ÇÏ´Â ÀüÀÚ±âÇÐÀÌ ¿ä±¸µÈ´Ù. °Ô´Ù°¡ GHz´ë ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ÀÀ¿ëÀÌ µÇ¸é ¿©±â¿¡ ¾çÀÚ¼ºµµ Ãß°¡µÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¢¹ °íÁÖÆÄ ÀÚ¼º Àç·áÀÇ °³¹ß [Ç¥ 2]´Â ÇöÀç °í·ÁµÇ´Â ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º¿ë °íÁÖÆÄ ÀÚ¼º Àç·áÀÇ Æ¯¼ºÀ» Á¤¸®ÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÇöÀç °íÁÖÆÄ ÀÚ¼º Àç·á·Î ÁÖ·Î ¾²ÀÌ´Â °ÍÀÌ Æä¶óÀÌÆ® Àç·áÀÌ´Ù. »êÈöÀ» ÁÖ¼ººÐÀ¸·Î ÇÏ´Â ¼¼¶ó¹ÍÀÇ ¹úÅ©Àç·Î, ÀúÇ×ÀÌ ³ô°í ¿¬ÀÚ¼ºÀÇ Æ¯¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î ȸ·Î ³» °íÁÖÆÄ ÀÚ¼º Àç·á·Î ¸¹ÀÌ ¾²¿´´Ù. ±×·¯³ª Æ÷È ÀÚÈ°¡ ÀÛ°í ¿ ÆøÁÖÀÇ ¿ì·Á°¡ ÀÖ´Â µ¥´Ù Ãæ°Ý¿¡µµ ¾àÇÏ´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ Æ÷È ÀÚÈ°¡ ³ô°í ¿ ÆøÁÖÀÇ ¿ì·Á°¡ ¾ø´Â ±Ý¼Ó ÀÔÀÚ°¡ ¾²ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ ¹ÝÀÚ°è·Î ÀÎÇØ ÅõÀÚÀ²ÀÌ ³·´Ù. ¹Ý¸é¿¡ µÎ²²°¡ ´ë´ÜÈ÷ ¾ãÀº ±Ø¹Ú °ÆÇÀº Æ÷È ÀÚÈ°¡ ³ô°í ¹ÝÀÚ°è°¡ ¾ø¾î ÅõÀÚÀ²ÀÌ ³ôÀ¸¸ç ¿ ÆøÁÖ, Ãæ°ÝÀÇ ¿ì·Á°¡ ¾ø´Ù. ½ºÆÛÅ͸µ(sputtering)¹ýÀº ¾ç»ê¼º¿¡´Â ¸ÂÁö ¾ÊÁö¸¸ ±Ø¼Ò ÀδöÅÍ¿¡´Â ÀûÇÕÇÏ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µ¹ýÀ¸·Î µÎ²² 1§ÀÇ ÀÚ±â Ư¼ºÀ» °èÃøÇϸé 1MHz Á¤µµ±îÁö ö¼ÕÀº ÁÖÆļö¿¡ ºñ·ÊÇÏ°í BH °î¼±ÀÇ Çü»ó¿¡ Å« º¯È´Â ¾ø¾ú´Ù. ´Ü·Ñ(single roll) °°Àº ±Þ·© ÀÀ°í¹ý¿¡¼´Â µÎ²² 5§ÀÇ Co ¾î¸ðÆÛ½º µîÀÇ ½ÃÇè Á¦ÀÛ, ÀÚ±â Ư¼ºÀÇ ¿¬±¸°¡ 30³âµµ ´õ Àü¿¡ ÀÌ·ç¾îÁ³´Ù. ´ç½Ã¿¡´Â SiC, GaN µð¹ÙÀ̽º´Â ¹°·ÐÀÌ°í MOS-FET°¡ °Ü¿ì ½Ç¿ëȵǴø ½Ã±â¿©¼, ¹ÝµµÃ¼º¸´Ù Àڱ⠿¬±¸°¡ ´õ ¾Õ¼ ÀÖ¾ú´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¾ç»ê¼ºÀ» °Ü³ÉÇÑ ÇÁ·Î¼¼½º·Î [±×¸² 9]¿Í °°ÀÌ ´Ü·Ñ-¾Ð¿¬¹ýÀ» »ç¿ëÇÑ ±Ø¹Ú °ÆÇÀ» ½ÃÇè Á¦ÀÛÇß´Ù. ´Ü·Ñ·Î µÎ²² 20§ÀÇ Ã¶À» ÀÀ°í½ÃÄÑ µÎ²² 2.7§±îÁö ±Ø¹ÚÈÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. °Ô´Ù°¡ Á¦Á¶ ÇÁ·Î¼¼½º-Àü±â Àç·á-ÀδöÅϽºÀÇ Àڱ⠵ð¹ÙÀ̽º-ÀιöÅÍ È¸·ÎÀÇ Æò°¡¸¦ ÀÏ°üÇÏ´Â ¿¬±¸µµ [±×¸² 10]°ú °°ÀÌ µ¿½Ã¿¡ ÇÏ°í ÀÖ´Ù. GaN µð¹ÙÀ̽º ¿©ÀÚ¿¡¼ ¸µÀ× Ã¶¼ÕÀ» Àú°¨ÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. Áö±Ý±îÁö ÆÄ¿ö ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º ±â¼úÀÇ Áøº¸, º¸±Þ¿¡ µû¶ó ȸ·Î ³»¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ÆÄ¿ö ¸¶±×³×ƽ½º¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇß´Ù. Àü±â¿¡³ÊÁöÀÇ ÀÌ¿ë¿¡¼´Â Àڱ⿡³ÊÁö¿¡ Àá±ñ 1Â÷ Áö¿¬À¸·Î ÃàÀûÇϰųª, Àü±âÀûÀ¸·Î Àý¿¬Çϰųª, Àڱ⿡³ÊÁö¸¦ ¾òÀ» ¶§ ÀڱⰡ ¾²À̸ç, ´ë¿ë·® °íÁÖÆÄ·Î ÇØ°áÇØ¾ß ÇÒ °úÁ¦°¡ ¸¹¾Æ ÇâÈÄ ¿¬±¸ °³¹ßÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. °Ô´Ù°¡ ³ôÀº Æ÷È ÀÚȳª °íÁÖÆÄ Àڱ⠰°Àº ¾çÀÚ¼ºÀ» °í·ÁÇÑ ¹°¸®ÇÐÀû ¿¬±¸µµ ÇÊ¿äÇÏ¸ç ´Ü±â, Áß±â, Àå±â¸¦ °í·ÁÇÑ ÅëÇÕÀûÀÎ ¿¬±¸ °³¹ßÀÌ ¿ä±¸µÈ´Ù.
< Energy News > |
|