분말 침전 방지, 가스 유동 성능 및 고온 관리 개선, 대용량 터보분자 진공펌프

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분말 침전 방지, 가스 유동 성능 및 고온 관리 개선, 대용량 터보분자 진공펌프

2014년 3월 3일 (월) 00:00:00 | 지면 발행 ( 2014년 3월호 - 전체 보기 )

분말 침전 방지, 가스 유동 성능 및 고온 관리 개선

대용량 터보분자 진공펌프

정교한 진공 제품과 저감장치 선도 제조업체이자 관련 고부가 서비스의 세계적인 공급업체인 에드워드사(Edwards Limited)는 가격적 측면에 민감한 반도체와 평판 디스플레이, LED, 태양전지판 생산시장에서 경쟁력 있는 가격의 대용량 터보분자 펌프(TMP)를 출시했다. 에드워드의 TMP 제품 마케팅 책임자 신이치 요시노Shinichi Yoshino는“STP-iXA4506 터보 펌프는 펌프 성능을 개선한 올인원 솔루션이다. 확실한 시장 기반과 함께 높은 신뢰도를 인정받고 있는 iXA 시리즈의 온보드 컨트롤러와 에드워드의 최신 로터 설계가 결합하여 허용 가스 처리량을 극대화함으로써 특히 태양전지판 및 평판 애플리케이션에서 고유량 공정에 필요한 펌프수를 최소화한다. 일체형 컨트롤러는 케이블과 개별 컨트롤러 랙의 필요와 비용을 제거하여 다양한 애플리케이션에 신속하고 편리하게 설치할 수 있는 초소형 패키지를 생산할 수 있다. 에드워드의 자기부상 터보펌프와 마찬가지로 기계 베어링이 없기 때문에 정기적인 유지보수 비용도 사실상 전무하다”고 말했다. 경질 및 중질가스를 효율적으로 펌핑할 수 있는 능력과 함께 펌프의 고속(4300l/s N2) 및 처리율(최대 4300sccm N2)을 갖춘 STP-iXA4506은 △반도체 에칭과 LCD 에칭 △유리 코팅 △태양열 PVD △코팅 PVD를 비롯하여 각종 대용량 고유량 애플리케이션에 사용될 수 있다. 치밀하게 통합된 디자인에는 가장 까다로운 공장 환경에서 견고하고 신뢰할 수 있는 수준으로 작동하기 위해 완전 밀봉된 전자모듈이 포함된다. 필요한 경우 열관리 시스템을 추가하여 공정 부산물로 인한 침전물과 미립자의 축적을 완화시킬 수 있다.

에드워드사(Edwards Ltd) www.edwardsvacuum.com.