오픈베이스는 자회사인 ㈜나노베이스가 카메라를 이용한 입체형상 검사 장치와 이를 포함한 검사시스템 및 검사 방법에 대한 특허를 취득했다고 12월 15일 밝혔다.
LED나 반도체웨이퍼 등과 같은 물체는 기존 레이저를 사용한 측정에서 해당 측정 대상물의 투명도에 따라 측정 결과의 편차가 커 정밀한 측정이 불가능했었다.
㈜나노베이스는 파장범위가 넓은 백색광을 이용해 빛을 반사하는 각도 내에서 측정 대상물을 조사하고, 반사되는 빛을 고성능 카메라를 이용하여 측정하는 방법으로 특허를 취득하게 됐다. 이 특허를 통해 반투명하거나 투명한 측정 대상물의 형상검사가 가능하며, 특히 LED의 경우 형상검사속도가 향상되고 측정값의 오차범위를 감소시켜 보다 정밀한 검사를 가능하게 한다.
<Energy News>
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