Çѱ¹ÈÇבּ¸¿ø_±èÈñ¿µ Ã¥ÀÓ¿¬±¸¿ø °³¿ä ž籤¹ßÀü»ê¾÷ÀÇ ±Ù°£À» ÀÌ·ç¸é¼ ž籤À» Àü±â¿¡³ÊÁö·Î ÀüȯÇϴ žçÀüÁöÀÇ ±âÆÇ ´ëºÎºÐÀº ´Ù°áÁ¤»óÅÂÀÇ ÃÊ°í¼øµµÀÇ ½Ç¸®ÄܼÒÀç(Æú¸®½Ç¸®ÄÜ)À¸·Î Á¦Á¶µÇ°í ÀÖ´Ù. ÇâÈÄ ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼³ª ¹«Á¤Çü ½Ç¸®ÄÜÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹Ú¸·Çü žçÀüÁöÀÇ È°¿ëÀÌ È®´ëµÉ ¼ö´Â ÀÖÁö¸¸, °áÁ¤Çü ½Ç¸®ÄܼÒÀç°¡ ½ÃÀåÀ» °è¼Ó ÁÖµµÇسª°¥ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ±×·±µ¥ ÀüÀÚ»ê¾÷¿ë ¿þÀÌÆÛ¿¡ Ãß°¡ÇÏ¿© žçÀüÁö ±âÆÇÀ̶ó´Â »õ·Ó°í ¹æ´ëÇÑ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇÏÁö ¸øÇÏ°í Æú¸®½Ç¸®ÄÜ Á¦Á¶°øÀåÀÇ Áõ¼³ ¹× ½Å±Ô°Ç¼³¿¡ Â÷ÁúÀÌ ºú¾îÁü¿¡ µû¶ó žçÀüÁö ±âÆÇ¿ë ½Ç¸®ÄܼÒÀçÀÇ °ø±ÞºÎÁ·ÀÌ ¿¹»ó°ú´Â ´Þ¸® 2010³â ¶Ç´Â ±× ÀÌÈıîÁö °è¼ÓµÉ °¡´É¼ºÀÌ Á¦±âµÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹®Á¦´Â ±âÁ¸ ¸ÞÀÌÄ¿µéÀÇ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ Á¦Á¶±â¼ú ÀÌÀü ȸÇÇ¿Í ½Å±Ô ÁøÃâ¾÷üµéÀÇ ±â¼ú È®º¸ ¾î·Á¿ò¿¡ ±âÀÎÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ž籤¹ßÀüÀÇ °æÁ¦¼ºÀ» Á¿ìÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Æú¸®½Ç¸®ÄÜ Á¦Á¶¿¡ °üÇÑ ±â¼ú°³¹ß µ¿ÇâÀ» ÆľÇÇÏ´Â °ÍÀº Àǹ̰¡ Å©´Ù. žçÀüÁö¿ë ½Ç¸®ÄܼÒÀç ºû¿¡³ÊÁö¸¦ Àü±â¿¡³ÊÁö·Î º¯È¯½ÃÅ°´Â ¼ÒÀÚÀΠžçÀüÁö(solar cell)¿¡¼ÀÇ ±¤ÀüÈ¿°ú(photovoltaic effect)¿¡ ±Ù°ÅÇÏ¿© ±¸ÇöµÇ´Â ž籤¹ßÀüÀº 03³âºÎÅÍ 06³â¿¡ °ÉÃÄ ¿¬Æò±Õ ¾à 46%ÀÇ ±Þ¼ºÀå¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ Solarbuzz ¹ßÇà 2007 Marketbuzz¿¡ µû¸£¸é Àü ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð°¡ 06³â¿¡ 106¾ï ´Þ·¯(2.2GWp)¿¡ À̸£·¶°í, 2011³â¿¡´Â ¿¬ 180~310¾ï ´Þ·¯ ¹üÀ§ ³» ±Ô¸ð·Î ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº ž籤¹ßÀüÀÌ ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö¿Í °ü·ÃµÈ ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¹Ì·¡ À¯¸Á»ê¾÷À¸·Î ºÎ°¢µÊ¿¡ µû¶ó žçÀüÁö, ¸ðµâ ¹× ½Ã½ºÅÛÀÇ ±¸¼º¿ä¼Ò¿Í ÀÌ¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Àç·á³ª ÀåºñÀÇ ¿øÈ°ÇÑ °ø±Þµµ »ê¾÷ÀûÀ¸·Î ¾ÆÁÖ Áß¿äÇØÁ³´Ù. ž籤¹ßÀü»ê¾÷Àº <±×¸² 1>°ú °°ÀÌ ¿ø·á¼ÒÀçÀÎ °í¼øµµ ½Ç¸®ÄÜ(silicon: ÀÌÇÏ Si) Á¦Á¶¾÷¿¡¼ºÎÅÍ ¼³Ä¡ ¹× ¼ºñ½º¾÷¿¡ À̸£±â±îÁö ¿©·¯ ´Ü°èÀÇ ¾÷Á¾ÀÌ Á÷·Ä·Î ¿¬°áµÈ´Ù. 04³â±îÁö´Â ÀüÀÚ±Þ Si¼ÒÀç(Electronic-grade Si: ÀÌÇÏ EG-Si) ¹× ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ÀÇ ºÒ·®Ç° ¶Ç´Â ºÎ»ê¹°¸¸À¸·Î žçÀüÁö ±âÆÇ(wafer) Á¦Á¶¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °í¼øµµÀÇ Si¿ø·á, Áï, žçÀüÁö±Þ Si(Solar-grade Si: SoG-Si)ÀÇ °ø±ÞÀÌ ¼ö¿ùÇÏ°Ô ÀÌ·ç¾îÁ® ¿ø·á¼ÒÀçÀÇ »ê¾÷Àû À§»óÀ̳ª Á߿伺ÀÌ ÁÖ¸ñ¹ÞÁö ¸øÇÏ¿´´Ù. ±×·¯³ª ž籤¹ßÀü ¸ðµâ(¿©·¯ ÀåÀÇ Å¾çÀüÁö ¼¿ÀÌ Á¶ÇÕµÈ ¹ßÀü´ÜÀ§)ÀÇ ÃâÇÏ·®ÀÌ ±ÞÁõÇÏ¸é¼ ¿ø·á¼ÒÀç °ø±Þ Â÷Áú°ú °¡°Ý ÆøµîÀ¸·Î SiÀç·áºñ°¡ ¸ðµâÁ¦Á¶ ¿ø°¡¿¡¼ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀÌ 20%¸¦ ÃÊ°úÇϱ⿡ À̸£·¶´Ù. ¶ÇÇÑ À×°÷/ºí·° ¹× ±âÆÇ Á¦Á¶¾÷ü³ª žçÀüÁö Á¦Á¶¾÷üµéÀº SoG-SiÀ» È®º¸ÇÏÁö ¸øÇÏ¿© Á¶¾÷ °¡µ¿À²À» ³·Ã߰ųª Áß´ÜÇÏ´Â »çÅ°¡ ¼ÓÃâÇÏ°í ÀÖ´Ù. <±×¸² 2>¿¡ Á¤¸®ÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ ±¤ÀüÈ¿°ú¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö Àִ žçÀüÁöÀÇ Àç·á ¹× ±¸¼º¹æ½ÄÀº ¾ÆÁÖ ´Ù¾çÇÏ¿© ¿À·¡ ÀüºÎÅÍ »ç¿ëµÇ¾î ¿Â, ¼ÒÀ§ '1¼¼´ë Àç·á'¶ó ÆïÇϵDZ⵵ ÇÏ´Â °áÁ¤Çü Si¼ÒÀç ÀÌ¿Ü¿¡µµ ¹Ú¸·(¹«Á¤Çü Si ¹Ú¸· ¹× ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·) žçÀüÁö ¶Ç´Â Â÷¼¼´ë ¼ÒÀç·Î ¾Ë·ÁÁø ½Å°³³äÀÇ ¼ÒÀç ¹× ÀüÁö ±¸¼º¹æ¹ýµµ Á¸ÀçÇÑ´Ù.
[±×¸² 1] ž籤¹ßÀü»ê¾÷ÀÇ ±¸¼º
[±×¸² 3] ¿ø·á¼ÒÀ纰 žçÀüÁö ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á (ÇÁ¶û½º YOLE»ç, 2007) ÀÌ¿Í °°ÀÌ ´Ù¾çÇÑ Àç·á¿Í È°¿ë °¡´É ±â¼úÀÌ ¼·Î °æÀïÀûÀ¸·Î ¹ßÀüÇØ¿À°í ÀÖ´Ù´Â Á¡Àº ¾ÕÀ¸·Î ž籤¹ßÀüÀÌ ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö¸¦ ´ëÇ¥ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹è°æÀÌ µÈ´Ù. Si ±âÆÇÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ´Â °áÁ¤Áú Si žçÀüÁö´Â ½ÃÀåÀÇ ¾à 90% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇØ¿À°í Àִµ¥ ÀÌ´Â ¼¿ ¹× ¸ðµâ°øÁ¤ÀÇ ±¸¼º, ¿îÀü ¹× Á¦Ç°»ý»ê µ¹ÀÔÀÌ ¼ö¿ùÇÏ°í ¿À·£ ±â°£ÀÇ °Ç¼³ ¹× È°¿ëÀ¸·Î ½Ã½ºÅÛ ½Å·Ú¼ºµµ ³ô¾Æ ¿©Å¸ žçÀüÁö ¹æ½Äº¸´Ù »ç¾÷Àû Ãø¸é¿¡¼ À¯¸®Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¹°·Ð <±×¸² 2>¿¡ ³ª¿µÈ ½Å°³³ä ¼ÒÀç ¹× ¼¿µéÀÇ ±â¼ú°³¹ß ¹× »ç¾÷¼º Çâ»óÀÌ ²ÙÁØÈ÷ °è¼ÓµÇ¸é¼ Áö±Ýº¸´Ù È°¿ë ¹üÀ§°¡ È®´ëµÇ°ÚÁö¸¸ 2010³â ÀÌÈÄ¿¡µµ °áÁ¤Çü Si±âÆÇ Å¾çÀüÁö ¹æ½ÄÀÌ °è¼Ó ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¹®°¡µéÀº ¿¹ÃøÇØ¿À°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Àü¸ÁÀÇ ¿¹·Î¼ <±×¸² 3>ÀÇ ÇÁ¶û½º ½ÃÀåÀü¹®±â°ü Yole»çÀÇ Å¾çÀüÁö ¼ÒÀ纰 ÇâÈÄ ½ÃÀåÀü¸Á¿¡ µû¸£¸é 2009³â 10¿ù ÀüÈÄ¿¡ SoG-Si °ø±Þ »óÀÇ Â÷Áú¿¡ µû¸¥ ÀϽÃÀûÀÎ ½ÃÀå Á¡À¯À² º¯È¿Í ¹Ú¸·Çü žçÀüÁöÀÇ Á¡À¯À² È®´ë°¡ ºÒ°¡ÇÇÇÏÁö¸¸ ¿ø·á°ø±Þ ¹®Á¦°¡ ÇØ¼ÒµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ´Â 2011³â ÀÌÈÄ¿¡µµ Si ±âÆÇÇü žçÀüÁöÀÇ ½ÃÀåÁö¹è·ÂÀº Áö¼ÓµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù. ºñ·Ï ¹Ú¸· ¹× ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼ Àç·á¿¡ ±âÃÊÇÑ Å¾çÀüÁöÀÇ Á¦Á¶¿ø°¡°¡ »ó´ëÀûÀ¸·Î ´õ ³·Àº °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ½¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í, °áÁ¤Çü Si žçÀüÁö¿Í °ü·ÃÇؼµµ (i) SoG-SiÀÇ °æÁ¦ÀûÀÎ Á¦Á¶±â¼ú °³¹ß, (ii) SoG-Si »ý»ê°øÀåÀÇ ´ë±Ô¸ð ½ÅÁõ¼³°ú ÀÌ¿¡ µû¸¥ SoG-Si °¡°Ý ¾ÈÁ¤, (iii) Si ±âÆÇÀÇ ¹ÚÆÇÈ µî°ú °°ÀÌ Å¾籤 ÇÇÅ©Ãâ·Â ´ç SiÀç·á ¼Ò¸ð·® °¨Ãà±â¼ú °³¹ß(12~14 g/W → 6~8 g/W), (iv) ¸®º»¹ý°ú °°Àº ½Å°³³äÀÇ Si ±âÆÇ Á¦Á¶±â¼ú °³¹ß ¹× ½Ç¿ëÈ È®´ë, (v) ÀÌÁßÁ¢ÇÕ ¹æ½Ä žçÀüÁö È°¿ë¹üÀ§ È®´ë¸¦ ÅëÇÑ °íÈ¿À²È, (vi) ÀÌ¿Í ¿¬°üµÈ ¼¿ ¹× ¸ðµâ Á¦Á¶°øÁ¤ÀÇ Ãß°¡ÀûÀÎ ±â¼ú°³¹ß°ú ¿ø°¡Àý°¨ µî°ú °°Àº ³ë·Âµµ ÇÔ²² ¼öÇàµÇ°í ÀÖ¾î <±×¸² 3>°ú °°Àº ½ÃÀåÀü¸ÁÀÌ µÞ¹ÞħµÇ´Â °ÍÀÌ´Ù. ±×·¯¹Ç·Î °áÁ¤Áú Si žçÀüÁö°¡ ´çºÐ°£ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â »óȲÀÓÀ» °í·ÁÇÏ¿© º» ÀÚ·á¿¡¼´Â SoG-SiÀ» °ª½Î°Ô Á¦Á¶ÇÏ·Á´Â ±â¼ú°³¹ß ³ë·ÂÀ» Á¤¸®ÇØ º¸µµ·Ï ÇÑ´Ù. žçÀüÁö¿ë Si ±âÆÇ Á¦Á¶¹æ¹ý SoG-SiÀ» ¿ø·á·Î ÇÏ¿© žçÀüÁö ±âÆÇÀ» Á¦Á¶ÇÏ´Â °æ·Î´Â <±×¸² 4>¿Í °°ÀÌ ¿ä¾àµÈ´Ù. Si °áÁ¤Çü žçÀüÁö¿ë ±âÆÇÀº ´Ü°áÁ¤ (single crystalline) ¹× ´Ù°áÁ¤(multi-crystalline) ±âÆÇÀ¸·Î ³ª´µ´Âµ¥, ´Ü°áÁ¤ ±âÆÇ¿¡´Â Si¿ø¼Ò°¡ ƯÁ¤ ¹æÇâÀ¸·Î ±ÔÄ¢ÀûÀ¸·Î ¹èÇâµÊ¿¡ µû¶ó ¹«´Ì¸¦ °üÂûÇÒ ¼ö ¾ø´Ù.(<±×¸² 4> ÇÏ´Ü ÂüÁ¶).
ÀÌ¿Í´Â ´Þ¸® ´Ü°áÁ¤ ¹Ì¼¼Á¶°¢µéÀÌ ¼·Î °áÇյǾî ÀÖ´Â °Íó·³ º¸ÀÌ´Â ´Ù°áÁ¤ ±âÆÇÀº °áÁ¤¿µ¿ª¿¡ µû¶ó ¹«´Ì¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù. ¸ðµâÀÇ ¸éÀûÀ» ÃÖ¼ÒÈÇϱâ À§ÇØ Si ±âÆÇ ÇüÅ´ º¸Åë Á¤»ç°¢ÇüÀ̸ç ÇÑ º¯ÀÇ Å©±â´Â 100, 125, 156, 200 mm µîÀ¸·Î ´Ù¾çÇÏ´Ù. ´Ü°áÁ¤±âÆÇÀÌ ¸ðµâÈ¿À²(ž籤¿¡³ÊÁö→Àü±â¿¡³ÊÁö Àüȯ) ¸é¿¡¼´Â ¾à 1%Á¤µµ ¿ì¼öÇÏÁö¸¸ °¡°Ý ¸é¿¡¼´Â ´Ù°áÁ¤ ±âÆÇÀÌ À¯¸®ÇÏ´Ù. Poly-Si, Áï, EG-Si ¹× SoG-Si Á¦Ç° ¸ðµÎ <±×¸² 4>(a) ¹× (b)¿Í °°ÀÌ ¸·´ëÇü(rod-type) ¶Ç´Â ÀÔÀÚÇü(granule-type)À¸·Î °¢°¢ »ý»êµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. SoG-SiÀ» ºÒ¼ø¹° ¿À¿°À» ¹æÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °÷¿¡¼ °íÇ°Áú ¼®¿µÀçÁúÀÇ µµ°¡´Ï¿¡ ¿ëÀ¶½ÃŲ ´ÙÀ½ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶°úÁ¤°ú À¯»çÇÑ ´Ü°áÁ¤ À×°÷Á¦Á¶ ¹× ½½¶óÀÌ½Ì °úÁ¤À» °ÅÄ¡¸é žçÀüÁö¿ë ´Ü°áÁ¤±âÆÇÀ» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÇÑÆí, À°¸éü µµ°¡´Ï ³»¿¡¼ SoG-SiÀ» ³ìÀÎ ´ÙÀ½ ¹æÇ⼺ °íÇüÈ°úÁ¤ (´Ù°áÁ¤ ij½ºÆðúÁ¤)À» ÅëÇØ ´Ù°áÁ¤ ±¸Á¶ÀÇ Si ºí·ÏÀ» Á¦Á¶ÇÏ°í žçÀüÁö ¼¿ Å©±âÀÇ ´Ü¸éÀûÀ» °®´Â Á÷À°¸éü ºí·ÏÀ¸·Î ½½¶óÀ̽ÌÇÑ ´ÙÀ½ ±âÆÇ ½½¶óÀ̽ÌÀ» °ÅÄ¡¸é žçÀüÁö¿ë ´Ù°áÁ¤±âÆÇÀ» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÇöÀç ´ëºÎºÐÀÇ Å¾çÀüÁö´Â ÀÌ·¯ÇÑ À×°÷(ºí·°) Á¦Á¶ ¹× ½½¶óÀ̽ÌÀ» ÅëÇØ Á¦Á¶µÇ°í Àִµ¥ ±âÆÇ µÎ²²°¡ 180~220 μm°¡ µÇ°Ô ¿ÍÀ̾îÇü Àý´Ü±â(multi-wire sawing)·Î À×°÷(ºí·°)À» ¼ö¸¹Àº ¾ãÀº ±âÆÇÀ¸·Î ½½¶óÀ̽ÌÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ ¾à 40% ÀüÈÄÀÇ SiºÐ¸»¼Õ½Ç(kerp loss)ÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ´Ù. ž籤¹ßÀü»ê¾÷¿¡ ÀÖ¾î¼ SoG-Si ºÎ´ãÀÌ ½É°¢ÇØÁü¿¡ µû¶ó ¿ø·á¼Ò¸ð·®°ú ºÐ¸»¼Õ½ÇÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ°Ô Si±âÆÇ µÎ²²¸¦ 150 μmÀÌÇÏ·Î ¾ã°Ô ÇÏ¿© SoG-Si ¿ø·á ¼Ò¸ð·®À» 9 g/Wp ÀÌÇÏ·Î ÁÙÀÓÀ¸·Î½á, ÃÖ±Ù ¾à 1.0 $/Wp(´Ù°áÁ¤ ±âÆDZâÁØ)À» ÃÊ°úÇϱ⿡ À̸¥ Si±âÆÇ °¡°ÝÀ» ³·Ãß·Á´Â ³ë·ÂÀÌ Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î È°¹ßÈ÷ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. À×°÷(ºí·°)ÀÇ ½½¶óÀ̰̽úÁ¤¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â Si ºÐ¸»¼Õ½ÇÀ» º¸´Ù ±Ù¿øÀûÀ¸·Î ¹èÁ¦ÇÔÀ¸·Î½á Si ¿ø·á¼Ò¸ð·®À» ÁÙÀ̱â À§ÇÏ¿© SoG-Si¿ëÀ¶ → À×°÷Á¦Á¶ → ½½¶óÀÌ½Ì °æ·Î¸¦ ´ë½ÅÇÏ¿© SoG-Si¿ëÀ¶ → 140~160 μm ÀÌÇÏ µÎ²²ÀÇ ¸®º»Çü ±âÆÇÀÇ (¹Ý)¿¬¼ÓÁ¦Á¶ ¹æ¹ýÀÌ ÃÖ±Ù »ó¾÷»ý»ê¿¡ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖÁö¸¸ È°¿ë¹üÀ§´Â ¾ÆÁ÷±îÁö Á¦ÇÑÀûÀÌ´Ù. Poly-SiÀÇ Ç°Áú »ó¾÷ÀûÀ¸·Î ÇöÀç »ý»êµÇ¾î °ø±ÞµÇ´Â SoG-SiÀº °áÁ¤±¸Á¶°¡ ´Ù°áÁ¤ »óÅÂÀÌ¸é¼ ¼øµµ°¡ ¾ÆÁÖ ³ôÀº Æú¸®½Ç¸®ÄÜ(polysilicon) ¶Ç´Â ´Ù°áÁ¤½Ç¸®ÄÜ(polycrystalline Si: ÀÌÇÏ poly-Si)ÀÌ´Ù. Poly-SiÀº »ç¿ëµÇ´Â ¸ñÀû¿¡ µû¶ó ¿ä±¸µÇ´Â Ç°Áú, Áï, ºÒ¼ø¹° ÇÔ·® ¸é¿¡¼ Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ¾î Å©°Ô EG-Si ¹× SoG-SiÀ¸·Î ±¸ºÐµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. Ç°Áú»ç¾çÀº ¼ö¿äÀڵ鸶´Ù Â÷ÀÌ°¡ ÀÖÀ» ¼ö ÀÖÁö¸¸ ÁÖ¿ä ºÒ¼ø¹° ¼ººÐÀ» ±âÁØÀ¸·Î ºñ±³Çغ¸¸é <Ç¥ 1>°ú °°´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ºÁúÀ» Á¦¾îÇÔ¿¡ ÀÖ¾î poly-Si¿¡¼´Â öÀúÈ÷ ¹èÁ¦µÇ¾î¾ß ÇÒ dopant ºÒ¼ø¹°¼ººÐ(B, P µî)ÀÇ Çã¿ë³óµµ°¡ ppt(1012ºÐÀÇ 1) ¼öÁØÀÎ EG-SiÀº Áö±¸»ó¿¡¼ ¼øµµ°¡ °¡Àå ³ôÀº ¹°Áú·Î ¾Ë·ÁÁ® Àִµ¥, ÀÌ¿¡ ºñÇØ SoG-SiÀÇ °æ¿ì¿¡´Â ź¼Ò ¹× ±Ý¼ÓºÒ¼ø¹° Çã¿ë ¹üÀ§°¡ Å©°Ô ¿ÏÈµÈ ÆíÀÌ´Ù. ÆíÀÇ»ó poly-SiÀÇ ¼øµµ¸¦ EG-SiÀº 11 Nine (11 N)ÀÌ»ó, SoG-SiÀº 6 Nine (99.9999%) ÀÌ»óÀ̶ó°í Ç¥ÇöÇϱ⵵ ÇÑ´Ù. ¿©±â¼ À¯ÀÇÇØ¾ß ÇÒ Á¡Àº EG-Si¿¡ ºñÇØ Á¶°ÇÀÌ ´ú ±î´Ù·ÓÁö¸¸ SoG-SiÀÇ ¼øµµµµ ¸Å¿ì ³ô±â ¶§¹®¿¡ ½±°Ô Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í »ý°¢Çϸé Å« ¿À»êÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ½ÇÁ¦ »ó¾÷Àû Á¦Á¶°øÁ¤µµ »ç½Ç»ó µ¿ÀÏÇÏ¿© Á¦Á¶¿ø°¡ÀÇ Â÷À̵µ <Ç¥ 1>°ú °°ÀÌ ±×¸® Å©Áö ¾Ê´Ù. ¾ÕÀ¸·Î ž籤¹ßÀü ´Ü°¡¸¦ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³·Ãß±â À§Çؼ žçÀüÁöÀÇ Ãß°¡ÀûÀÎ °íÈ¿À²È°¡ ºÒ°¡ÇÇÇÑ Á¡À» °í·ÁÇϸé EG-SiÀÇ ¿ª»ç¿¡¼ °æÇèÇß´ø ¹Ù¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î SoG-SiÀÇ ¿ä±¸»ç¾çµµ ¾ÕÀ¸·Î Á¡Á¡ ´õ ±î´Ù·Î¿öÁú °ÍÀÌ ºÐ¸íÇÏ´Ù. Poly-Si Á¦Á¶°øÁ¤ <±×¸² 5>´Â 07³â ÇöÀç ±â¼ú°³¹ßÀÌ ÁøÇà ÁßÀ̰ųª »ó¾÷Àû È°¿ëÀÌ °¡´ÉÇÑ SoG-SiÀÇ Á¦Á¶°æ·Î¸¦ ÃÑ°ýÀûÀ¸·Î Á¤¸®ÇÑ °ÍÀ¸·Î ±× ³»¿ëÀº ´ÙÀ½°ú °°´Ù. 04³â±îÁö¸¸ Çصµ <±×¸² 5>ÀÇ Á¡¼±ºÎºÐ°ú °°ÀÌ EG-Si Á¦Á¶ ¹× È°¿ë°úÁ¤¿¡¼ÀÇ ºÎ»ê¹°¸¸À¸·Î 1 GWp/³â ÀÌÇÏ¿´´ø SoG-Si ¼ö¿ä¸¦ ¼ö¿ùÇÏ°Ô ÃæÁ·½Ãų ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. 05³â¿¡´Â poly-SiÁ¦Á¶°øÀåÀÇ ºÎºÐÀûÀÎ Áõ¼³°ú Àç°í¹°·®ÀÇ ¼ÒÁøÀ» ÅëÇØ ´õ¿í Áõ°¡ÇÏ´Â SoG-Si ¼ö¿ä¸¦ Ãæ´çÇØ¿Ô´Ù. ±×·¯³ª 06³âºÎÅÍ´Â µ¿ÀÏ ¼®Ãâ¹ÝÀÀ±â¿¡¼ EG-Siº¸´Ù ³ôÀº »ý»ê¼ºÀ¸·Î °ª½Î°Ô SoG-SiÀ» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ±âÁ¸ poly-Si °øÁ¤¼³ºñ ¹× ¿îÀü¹æ¹ýÀ» ºÎºÐÀûÀ¸·Î °³¼±ÇÏ¸é¼ È®¸³ÇØ¿Â SoG-Si Á¦Á¶°øÁ¤À» Åä´ë·Î ±âÁ¸ ¸ÞÀÌÀú¾÷üµéÀº ¼ö¿ä ±ÞÁõÀ» °í·ÁÇÏ¿© ´ë±Ô¸ð Áõ¼³¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù. ±×·³¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í poly-Si Ç°±Í Áö¼Ó°ú ¶Ù¾î³ »ç¾÷¼ºÀ» È®½ÅÇÑ ¸¹Àº ½Å»ý¾÷üµéÀº poly-Si »ç¾÷ÁøÃâÀ» ¾Õ´ÙÅõ¾î ¼±¾ðÇϱ⿡ À̸£·¶´Ù. ÇöÀç »ó¾÷ÀûÀ¸·Î »ý»êµÇ´Â poly-SiÀÇ Á¦Á¶°úÁ¤Àº <±×¸² 5>ÀÇ ±½Àº ¼± ºÎºÐ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î, º¸´Ù »ó¼¼ÇÑ ±¸¼º ³»¿ªÀº <±×¸² 6>°ú °°ÀÌ Á¤¸®µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¸£¸é 6~11 N ÀÌ»ó ¼øµµÀÇ poly-SiÀº Si ¼øµµ°¡ ¾à 99% Á¤µµÀÎ ±Ý¼Ó±Þ Si(Metallurgical Si: ÀÌÇÏ MG-Si)¿¡¼ Ãâ¹ßÇÏ¿© MG-Si → ½Ç¶õ¿ø·á ÇÕ¼º ¹× Á¤Á¦ (°¡½ºÈ°øÁ¤) → ½Ç¶õ°¡½º·ÎºÎÅÍ poly-Si Á¦Á¶(¼®Ãâ°øÁ¤) °úÁ¤À» °ÅÃÄ Á¦Á¶µÈ´Ù.
MG-SiÀº ±Ô¼®/±Ô»ç(ÁÖ¼ººÐ : SiO2)¿Í È濬(ÁÖ¼ººÐ : C)À» ¾ÆÅ©¹æÀü·Î¿¡¼ ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ Á¦Á¶µÇ¾î ÇöÀç ¾à 1.5~2.0 $/kgÀÇ °¡°ÝÀ¸·Î ÆǸŵǰí ÀÖ´Ù. Áß±¹, ³ë¸£¿þÀÌ µî Àü·Â°ø±ÞÀÌ ¼ö¿ùÇÑ °÷¿¡¼ Á¦Á¶µÇ´Â MG-SiÀ» Ãâ¹ß¿ø·á·Î ÇÏ´Â °¡½ºÈ°øÁ¤À» ÅëÇØ ½Ç¶õ¿ø·á°¡ ÇÕ¼º, ºÐ¸®µÇ¾î ÃæºÐÈ÷ Á¤Á¦µÇ¸é °í¼øµµ ½Ç¶õ¿ø·á°¡ Á¦Á¶µÈ´Ù. MG-SiÀÇ ºÒ¼ø¹° Á¾·ù ¹× ÇÔ·®¿¡ µû¶ó ÇÕ¼º¹ÝÀÀ¿¡ Â÷ÀÌ°¡ »ý±â¹Ç·Î MG-Si ¼±ÅÃÀº Áß¿äÇÏ´Ù. ÇöÀç poly-Si »ý»ê°øÀå¿¡¼´Â »ï¿°È½Ç¶õ(SiHCl3 : ÀÌÇÏ TCS) ¶Ç´Â ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4 : ÀÌÇÏ MS) °¡¿îµ¥¿¡¼ ÇÑ °¡Áö¸¦ ½Ç¶õ¿ø·á·Î »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù. TCS´Â À¯µ¿Ãþ ¶Ç´Â À̵¿½Ä ¹ÝÀÀ±â¿¡¼ [MG-Si + HCl] ¹ÝÀÀÀ¸·Î ÇÕ¼ºµÈ´Ù. MS´Â À¯µ¿Ãþ¹ÝÀÀ±â¿¡¼ [MG-Si + SiCl4 + H2] ¹ÝÀÀÀ¸·Î TCS¸¦ ¸ÕÀú Á¦Á¶ÇÑ ´ÙÀ½ Cl¿ø¼Ò¸¦ H¿ø¼Ò·Î Ãß°¡·Î ġȯ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ Á¦Á¶Çϰųª [SiF4 + NaAlH4] ¹ÝÀÀÀ¸·Î ÇÕ¼ºÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù. °¡½ºÈ°øÁ¤¿¡¼ Á¦Á¶µÇ´Â ÃÊ°í¼øµµÀÇ ½Ç¶õ¿ø·á·ÎºÎÅÍ °íü»óÅÂÀÇ poly-SiÀ» Çü¼º½ÃÅ°´Â °úÁ¤À» Si ¼®Ãâ(deposition) °øÁ¤ ¶Ç´Â ÈÇÐÁõ±âÁõÂø(Chemical Vapoer Deposition)À̶ó ÇÑ´Ù. ½Ç¶õ¿ø·á °¡½º´Â °í¿Â¿¡¼ÀÇ ¼ö¼Òȯ¿ø¹ÝÀÀ ¹× ¿ºÐÇعÝÀÀ¸¦ ÅëÇØ Si¿ø¼Ò(¹Ì¸³ÀÚ)¸¦ »ý¼º½ÃÅ°°í ÀÌ Si¿ø¼Ò(¹Ì¸³ÀÚ)°¡ ¸·´ë(rod) ¶Ç´Â ÀÔÀÚÀÇ Ç¥¸é¿¡¼ ´Ù°áÁ¤»óŸ¦ ÀÌ·ç¸é¼ ¼®ÃâÇØ ³ª°£´Ù. ÇöÀç poly-Si Á¦Á¶°øÀå¿¡¼ È°¿ëµÇ´Â ¼®Ãâ°øÁ¤¿¡´Â (i) ¸·´ëÇü Á¦Ç° »ý»ê¿ë Á¾Çü(bell-jar) ¹ÝÀÀ±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â Áö¸à½º(Siemens)¼®Ãâ¹ý°ú (ii) À¯µ¿Ãþ¹ÝÀÀ±â(Fluidized Bed Reactor : ÀÌÇÏ FBR)¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â FBR¼®Ãâ¹ý °¡¿îµ¥¿¡¼ ÇÑ °¡Áö°¡ ¼±ÅõǾî È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í °°ÀÌ ½Ç¶õ¿ø·á(°¡½ºÈ°øÁ¤)- Si¼®Ãâ°øÁ¤ÀÌ ¼±ÅÃµÇ¸é °¡½ºÈ°øÁ¤ ¹× Si ¼®Ãâ°øÁ¤¿¡¼ ¹èÃâµÇ´Â ºÎ»ê¹° ¹× ¹Ì¹ÝÀÀ ¿ø·á°¡½º¼ººÐµéÀÇ È¸¼ö, ºÐ¸® ¹× ÀçÈ°¿ë¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ÀçÈ°¿ë°øÁ¤ÀÌ °áÁ¤µÇ¾î poly-Si Á¦Á¶°øÀåÀÇ ±âº»°ñ°ÝÀÌ ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î °áÁ¤µÈ´Ù. ÀçÈ°¿ë°øÁ¤Àº ºÎ»ê¹°ÀÇ ¿ø·áÈ, Æó±â¹° ÃÖ¼ÒÈ, ¿¡³ÊÁöÀý°¨, ºÎ»ê¹°ÀÇ Á¤¹ÐÈÇÐ Á¦Ç°È µî°ú ÀÌ·¯ÇÑ Á¶°Ç¿¡ µû¶ó ÃÖÁ¾ °áÁ¤µÇ´Â °æÁ¦¼º(ÅõÀÚºñ ¹× Á¦Á¶¿ø°¡) ¸é¿¡¼ ¾ÆÁÖ Áß¿äÇϹǷΠ¿©Å¸ ÈÇаøÀå °Ç¼³°ú ¸¶Âù°¡Áö·Î °æÁ¦¼º ±Ø´ëȸ¦ À§ÇÑ °øÁ¤ ÃÖÀûÈ°¡ ¾ÆÁÖ Áß¿äÇÏ´Ù. TCS´Â Á¦Á¶¿ø°¡, ÀúÀå ¹× Ãë±Þ ¸é¿¡¼´Â À¯¸®Çϳª ¼®Ãâ¹ÝÀÀ¿Âµµ(900~1,150¡É)°¡ ³ô°í ¹ÝÀÀÀüȯÀ²ÀÌ Á¦ÇÑÀûÀÌ¾î¼ ÀçÈ°¿ë°øÁ¤ÀÇ ºÎ´ãÀÌ Å« ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. MS´Â Á¦Á¶ºñ¿ë°ú ¾ÈÁ¤¼º ¸é¿¡¼´Â ºÒ¸®ÇÏ°í Si¼®Ãâ°úÁ¤¿¡¼ ºÐ¸»»ý¼ºÀÌ ½ÉÇÑ ¹®Á¦°¡ ÀÖ´Â ¹Ý¸é, °¡½º ºÎ½Ä¼º ¹®Á¦°¡ ¾ø°í º¸´Ù ³·Àº ¿Âµµ(600~700¡É)¿¡¼ ÀüȯÀ²ÀÌ ³ôÀº Si¼®ÃâÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. Si ¼®Ãâ±â¼úÀÇ ÁøÈ ½Ç¶õ¿ø·á Á¦Á¶ ¹× ÀçÈ°¿ë°øÁ¤Àº ±âÁ¸ ÈÇаøÀåÀÇ ¼º°Ý¿¡ ºÎÇյǴ Ãø¸éÀÌ °ÇÏÁö¸¸ poly-Si Á¦Á¶°øÀ常ÀÌ Áö´Ï´Â °¡Àå Ư¼öÇÑ ºÎºÐÀÌ ¹Ù·Î Si ¼®Ãâ°øÁ¤ÀÌ´Ù. 1960³â´ë ÃÊ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ µµÀԱ⿡ <±×¸² 6>¿¡ ¿¹½ÃµÈ bell-jarÇü ¹ÝÀÀ±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ½Ç¶õ¿ø·á·ÎºÎÅÍ ¸·´ëÇü poly-SiÀ» Á¦Á¶ÇÏ´Â Siemens ¼®Ãâ°ø¹ýÀº ºÒ¼ø¹°¿À¿°À» ÃÖ´ëÇÑ ¹èÁ¦ÇÏ¸é¼ ¼Ò·®ÀÇ EG-SiÀ» ȸºÐ½Ä(batch½Ä)À¸·Î »ý»êÇÏ´Â µ¥¿¡ ÃÊÁ¡À» µÎ¾î °³¹ßµÇ¾ú´Ù. ÀÌ ¹ÝÀÀ±â´Â ûÁ¤ºÐÀ§±â·Î À¯ÁöµÇ´Â ¼®¿µÀçÁúÀÇ bell-jar ³»ºÎ¿¡ 6~7mm ±½±âÀÇ °¡´À´Ù¶õ Si ÄÚ¾î Çʶó¸àÆ® ¼ö ½Ê ¼¼Æ® °¢°¢À» ∩ÇüÀÌ µÇ°Ô ÇϺÎÀÇ Àü±Ø¿¡ °íÁ¤ÇÏ¿© ¼³Ä¡ÇÏ°í ¿¹¿±â(preheater)·Î ¾à 300¡ÉÀÌ»ó ¿¹¿½ÃÅ°°í ³ª¸é ³ôÀº ¿Âµµ·Î ÀúÇ× °¡¿µÉ ¼ö ÀÖ°í ¹ÝÀÀ°¡½º(¿¹ : TCS+H2)¸¦ ¹ÝÀÀ±â ³»ºÎ·Î °ø±ÞÇϸé Si ÄÚ¾î Ç¥¸é¿¡ SiÀÌ ¼®ÃâµÇ¸é¼ Á¡Â÷ SiÀÇ ±½±â°¡ Áõ°¡ÇÏ°Ô µÈ´Ù. Si ¼®ÃâÀÌ ¼ö ÀÏ~¼ö ½ÊÀÏ ÀÌ»ó °è¼ÓµÇ¸é Si ¸·´ë(rod)ÀÇ Á÷°æÀÌ ¾à 10~15 cm Á¤µµ·Î Áõ°¡ÇÏ°Ô µÇ°í ¹ÝÀÀ±â ³»ºÎ¿¡¼ Á÷°æÀÌ ´õ Áõ°¡Çϱ⠾î·Á¿öÁö¸é Si ¼®Ãâ¿îÀüÀ» Á¾·áÇÑ ´ÙÀ½ ¸·´ëÇü poly-Si Á¦Ç°À» ²¨³½´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î Áö¸à½º ¼®Ãâ¹ý¿¡ µû¸£¸é poly-Si Á¦Á¶°¡ ¿¬¼ÓÀûÀÌÁö ¸øÇÏ°í Á¦Ç°À» ²¨³¾ ¶§¸¶´Ù Á¶¾÷ÀÌ ÁߴܵǴ ¹èÄ¡(batch)¹æ½ÄÀ̶ó´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ°í ¹ÝÀÀ±âÀÇ ºó¹øÇÑ ÇØü, Á¦Ç° ȸ¼ö, ºÐ¼â, ÈÄó¸® ¹× Æ÷Àå°ú ¹ÝÀÀ±â ÀçÁ¶¸³¿¡ µû¸¥ Àη¼Ҹ𵵠¸¸¸¸Ä¡ ¾Ê´Ù. ÀÌ ¹Û¿¡ ¹ÝÀÀ±â º®¸é¿¡¼ÀÇ Si ¼®Ãâ¹æÁö¸¦ À§ÇÑ ¹ÝÀÀ±â º®¸é ³Ã°¢À¸·Î ÀÎÇÏ¿© Áö¸à½º¼®Ãâ¹ýÀº SoG-Si 1 kgÁ¦Á¶¿¡ ¾à 60~150 kWH ¹üÀ§ÀÇ Àü·Â¿¡³ÊÁö°¡ ¼ÒºñµÇ°í ÀÌ¿¡ µû¸¥ Àü·Â°ø±Þ¼³ºñ ºÎÀÚºñ ºÎ´ãµµ ½É°¢ÇÏ´Ù. Áö¸à½º¼®Ãâ¹ý È°¿ë ÀÌ»ó ¼³¸íÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ Áö¸à½º¼®Ãâ¹ýÀº °í¼øµµ SiÀç·á¸¦ »ý»êÇϱ⿡ °¡Àå ÀÌ»óÀûÀÌ°í ±â¼úÀûÀ¸·Îµµ °¡Àå ¼º¼÷µÈ °ø¹ýÀÌ¾î¼ ¹Ì±¹ Hemlock, µ¶ÀÏ Wacker, ÀϺ» Tokuyama, ¹Ì±¹ REC/ASIMI µî°ú °°ÀÌ ±âÁ¸ ¸ÞÀÌÀú¾÷üµéÀÌ »ó¾÷ÀûÀ¸·Î ¸¹ÀÌ È°¿ëÇÏÁö¸¸, ÀåÄ¡ ÅõÀÚºñ ¹× Á¦Á¶¿ø°¡°¡ ³ôÀº ´ÜÁ¡ ¶§¹®¿¡ EG-Si°ú´Â ´Þ¸® SoG-SiÀ» ¾ÆÁÖ °ª½Î°Ô »ý»êÇϱ⿡´Â »ç½Ç»ó ºÎÀûÀýÇÑ °ø¹ýÀ̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª FBR¼®Ãâ°øÁ¤°ú °°Àº ÃֽŠ´ëü °øÁ¤±â¼úÀÌ »ê¾÷Àç»ê±ÇÀ» ¼ÒÀ¯ÇÏ°í Àִ ƯÁ¤ ¾÷ü¿¡¼¸¸ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÇѰ輺À¸·Î ÀÎÇØ ÇöÀç Áö¸à½º¼®Ãâ¹ýÀÌ ¾ÆÁ÷±îÁö´Â SoG-Si »ý»ê°øÀåÀÇ °Ç¼³¿¡ °¡Àå ¸¹ÀÌ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. 90³â´ë ÃÊ ¹Ì±¹ Ethyl»ç(Çö MEMC)¿¡¼ »ó¾÷ÀûÀ¸·Î È°¿ëÇϱ⠽ÃÀÛÇÑ ÃֽŠ°ø¹ýÀÎ FBR¼®Ãâ¹ýÀº ¼±ÅõǴ ½Ç¶õ¿ø·á(TCS ¶Ç´Â MS)¿¡ µû¶ó ¹ÝÀÀ±â ±¸¼º ¹× ¿îÀü ¹æ¹ý Ãø¸é¿¡¼ Â÷ÀÌ°¡ ÀÖÁö¸¸ ±âº»ÀûÀΠƯ¼ºÀº <±×¸² 6>¿¡ ¿ä¾àµÈ ¹Ù¿Í °°´Ù. Æò±ÕÅ©±â°¡ ¾à 1.0~1.5mm ÀÎ ¼ö¸¹Àº SiÀÔÀÚµéÀº ¹ÝÀÀ±â³»ºÎ·Î °ø±ÞµÇ´Â °¡½º°ø±Þ ¼Óµµ°¡ ÀÏÁ¤ ¼öÁØ ÀÌ»óÀ¸·Î Áõ°¡Çϸé ÀÔÀÚµéÀÌ ¿òÁ÷ÀÌ°Ô µÇ¾î SiÀÔÀÚµéÀÇ À¯µ¿ÃþÀÌ Çü¼ºµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç ÀÔÀÚµéÀ» ¼®Ãâ¿Âµµ·Î °¡¿½ÃŲ ´ÙÀ½ À¯µ¿Ãþ ³»ºÎ·Î ¹ÝÀÀ°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ°Ô µÇ¸é À¯µ¿ÇÏ´Â °í¿ÂÀÇ SiÀÔÀÚ Ç¥¸é¿¡ SiÀÌ ¼®ÃâÇÏ°Ô µÇ°í ÀÔÀÚµéÀÇ Å©±â°¡ ½Ã°£¿¡ µû¶ó Á¡Â÷ Áõ°¡ÇÏ°Ô µÈ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¼®Ãâ°úÁ¤À» ÅëÇØ ÀÔÀÚµéÀÌ Ä¿Áö¸é Á¡Â÷ ÇϺηΠ°¡¶ó¾É°Ô µÇ¾î ¹ÝÀÀ±â ÇϺο¡ ¼³Ä¡µÈ ÀÔÀÚ ¹èÃâºÎ¸¦ ÅëÇØ Á¦Ç°ÀÔÀÚ·Î ºüÁ® ³ª¿À°Ô µÈ´Ù. Á¦Ç°ÀÔÀÚ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °³¼öÀÇ Á¾ÀÔÀÚ(seed crystal : Å©±â°¡ 0.2~0.4 mm)°¡ ¹ÝÀÀ±â »óºÎ ¶Ç´Â ÇϺθ¦ ÅëÇØ SiÀÔÀÚ À¯µ¿Ãþ ³»ºÎ·Î °ø±ÞµÇ¸é ¿¬¼Ó¿îÀüÀÌ °è¼ÓµÉ ¼ö Àִµ¥, ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î ¹èÃâµÇ´Â Á¦Ç°ÀÔÀÚ´Â ÀúÀåµÈ ´ÙÀ½ °ð¹Ù·Î ´Ü°áÁ¤¼ºÀå ¶Ç´Â ´Ù°áÁ¤ ij½ºÆà °øÁ¤¿¡ ÅõÀ﵃ ¼ö ÀÖ¾î¼ Áö¸à½º ¼®Ãâ¹ý¿¡ ºñÇÏ¸é »ý»ê¼º ¹× ÀΰǺñ ¸é¿¡¼ Å©°Ô À¯¸®ÇÏ´Ù. FBR¼®Ãâ¹ý ¶ÇÇÑ ºÒ¼ø¹° ¿À¿°ÀÌ ¹èÁ¦µÇ´Â Á¶°Ç ÇÏ¿¡¼ ¿¼Õ½ÇÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÏ¸é¼ À¯µ¿Ãþ ³»ºÎÀÇ SiÀÔÀڵ鸸 °¡¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù¸é Áö¸à½º¼®Ãâ¹ý¿¡ ºñÇØ Àü·Â¼Ò¸ð·®µµ Å©°Ô ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹Ì±¹ ASiMI»ç¸¦ ÀμöÇÑ ³ë¸£¿þÀÌ REC»ç´Â 07³â¿¡ MS¸¦ ¿ø·á·Î °³¹ßµÈ FBR°øÁ¤À» Åä´ë·Î ¾à 9,500Åæ/³â¿¡ À̸£´Â ´ë±Ô¸ð °øÀå Áõ¼³¿¡ Âø¼öÇß´Ù. REC»ç¿¡ µû¸£¸é FBR¼®Ãâ¹ýÀÌ ¿¡³ÊÁö ´Ù¼Òºñ°ø¹ýÀÎ ±âÁ¸ÀÇ Áö¸à½º¼®Ãâ¹ý¿¡ ºñÇØ Àü·Â¼Ò¸ð°¡ 1/5 ÀÌÇÏ·Î ÁÙ¾îµé°í Á¦Á¶¿ø°¡µµ ÃÖ¼Ò 30% ÀÌ»ó ÁÙÀÌ´Â °ÍÀÌ °¡´ÉÇÏ¿© SoG-Si Á¦Á¶¿ø°¡ Àý°¨À» ÅëÇÑ Si±âÆÇ°¡°ÝÀÇ ´ëÆøÀûÀÎ Àý°¨ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÇÑÆí ±âÁ¸ TCS-Áö¸à½º¼®Ãâ¹ý À¯ÇüÀÇ poly-Si °øÀåÀÌ Àüü °øÀåÀÇ ¾à 3/4 ÀÌ»ó Â÷ÁöÇÑ´Ù´Â Á¡À» °í·ÁÇϸé TCS-FBR¼®Ãâ¹ýÀÇ »ó¾÷Àû °¡Ä¡´Â ¾ÆÁÖ Å©´Ù. Á¦Á¶°¡ ¿ëÀÌÇÏ°í °ªÀÌ ½Ñ TCS¸¦ ½Ç¶õ¿ø·á·Î FBR¼®Ãâ¹ýÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù¸é TCS-Áö¸à½º¼®Ãâ¹ý ¶Ç´Â MS-FBR¼®Ãâ¹ýº¸´Ù ´õ °ª½Ñ SoG-SiÀÇ ¿¬¼Ó ´ë·®»ý»êÀÌ °¡´ÉÇØÁú ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç MS-FBR¼®Ãâ¹ý¿¡ ÀÇÇÑ Á¦Ç°ÀÔÀÚ ³»ºÎ¿¡´Â ¼ö¸¹Àº ±â°øÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ°Ô »ý¼ºµÉ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù. ¹Ý¸é TCS-FBR¼®Ãâ¹ýÀÇ °æ¿ì¿¡´Â °áÁ¤Á¶Á÷ÀÌ Ä¡¹ÐÇÏ°í ±â°øÀÌ ¾ø´Â ¿ì¼öÇÑ Ç°ÁúÀÇ ÀÔÀÚ»ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ½Ç¶õ¿ø·á°¡ ¹«¾ùÀ̵ç, ÀÔÀÚÇü SoG-SiÀº ¹°¸®Àû Çü»óÀÇ ÀåÁ¡À¸·Î ¸®º»¹ýÀ̳ª ´Ü°áÁ¤ ¿¬¼Ó¼ºÀå°ú °°ÀÌ À×°÷/ºí·Ï ¹× ±âÆÇÁ¦Á¶°øÁ¤ÀÇ (¹Ý)¿¬¼ÓÈ¿¡ ÇʼöÀûÀÌ¸ç ¸·´ëÇüÁ¦Ç°º¸´Ù È°¿ë¹üÀ§°¡ ±¤¹üÀ§ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. SoG-Si ´ë·®»ý»ê¿¡ ÀÖ¾î¼ °æÁ¦¼ºÀÌ °¡Àå ¿ì¼öÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ´Â TCS-FBR¼®Ãâ¹ýÀº 70³â´ë ¹Ì±¹ Texas Instrument»ç°¡ EG-SiÀÇ Àú¿¡³ÊÁö ¿¬¼Ó»ý»êÀ» ¸ñÇ¥·Î ±â¼ú°³¹ßÀÌ ½ÃÀÛµÈ ÀÌÈÄ 80³â´ë ºÎÅÍ´Â ÀϺ»°ú Çѱ¹¿¡¼µµ ±â¼ú°³¹ßÀÌ ½ÃÀ۵ǾúÁö¸¸ »ó¾÷È¿¡´Â À̸£Áö ¸øÇß´Ù. ´Ù¸¸ 94³â Çѱ¹ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ°¡¿ FBR¼®Ãâ±â¼úÀ» ÀÌÀü¹Þ¾Æ °¡¿¹æ¹ý µîÀÇ º¯°æ/°³¼±À» µµ¸ðÇØ¿Â µ¶ÀÏ Wacker»ç°¡ 07³â¿¡¾ß °Ü¿ì 650Åæ/³âÀÇ »ó¾÷»ý»ê °øÀå °Ç¼³À» ¹ßÇ¥ÇßÀ» »ÓÀÌ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº TCS-FBR¼®Ãâ¹ý¿¡ ÀÖ¾î¼ °¡Àå ¾î·Á¿î ±â¼úÀû Àå¾Ö¹°Àº °í¿Â °¡¿¹®Á¦, ¹ÝÀÀ±â »ý»ê¼º Çâ»ó ¹®Á¦, ¹ÝÀÀ±â ³»º®¸é¿¡ ´©ÀûµÇ´Â SiÅðÀû¹° Á¦°Å¿Í ¿¬¼ÓÀû ¼®Ãâ¿îÀü ¹®Á¦ µîÀ̶ó ÇÒ ¼ö Àִµ¥ ÃÖ±Ù ±¹³»¿¡¼´Â ÀÌ·¯ÇÑ ¹®Á¦µéÀ» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °øÁ¤±â¼úÀ» °³¹ß, ½ÇÇèÀû °ËÁõÀ» ¸¶Ä¡°í ÇöÀç ÆÄÀÏ·µ±Ô¸ðÀÇ ½ÇÁõ´Ü°è¿¡ ÁøÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±âŸ ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ Áö¸à½º¼®Ãâ¹ýÀÇ °³¼±, FBR¼®Ãâ°øÁ¤ÀÇ °³¹ß¿¡ º´ÇàÇÏ¿© °æÁ¦¼ºÀÌ º¸´Ù ³ôÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº ¿©·¯ °¡Áö ±â¼ú°³¹ßÀÌ È°¹ßÈ÷ °è¼ÓµÇ°í ÀÖ´Ù: (1) °í¼øµµ ¿ø·á(SiO2 +C)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °í¼øµµ SiÁ¦Á¶ (<±×¸² 5> ÂüÁ¶) : ¼øµµ°¡ ¾ÆÁÖ ³ôÀº ±Ô¼®(SiO2)°ú È濬(C)À» ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ SoG-SiÀ» °ð¹Ù·Î ¾ò°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥·Î (±¸)¼Ò·Ã ¹× ³ë¸£¿þÀÌ µî°ú °°ÀÌ °í¼øµµ ¿ø·á°¡ °¡´ÉÇÑ °÷¿¡¼ ½ÃµµµÇ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª ¾ò¾îÁö´Â SoG-Si Ç°ÁúÀÌ ¹ÌÈíÇÏ¿© ¹æÇ⼺ÀÀ°í¿Í °°Àº Ãß°¡ Á¤Á¦°øÁ¤ÀÌ ÇʼöÀûÀÌ¾î¼ ½Ç¿ëÈ°¡ ´Ê¾îÁö°í ÀÖ´Ù. (2) MG-SiÀÇ ¾÷±×·¹µå¸¦ ÅëÇÑ SoG-Si Á¦Á¶ (<±×¸² 5>ÂüÁ¶) : MG-SiÀÇ ¾þ±×·¹À̵å(Á¤·Ã ¹× ºÒ¼ø¹° Á¦°Å°úÁ¤À» ¸Á¶ó) °³³äÀ¸·Î UMG(Upgraded MG-Si)À» Á¦Á¶ÇÏ¿© SoG-Si ¶Ç´Â EG-Si°ú ¼¯¾î Si±âÆÇ Á¦Á¶¿¡ È°¿ëÇÏ·Á´Â ¸ñÇ¥°¡ ¹Ì±¹ Corning »ç¿¡ ÀÇÇØ 06³â ½ÇÇöµÇ¾ú°í ÇöÀç Ç°Áú Çâ»óÀ» À§ÇØ ±â¼ú°³¹ßÀ» °è¼ÓÁßÀÌ´Ù. ÇÑÆí, MG-Si ¾÷üÀÎ ³ë¸£¿þÀÌ Elkem»ç´Â 6 N¼öÁØÀÇ Ç°ÁúÀ» ¸ñÇ¥·Î SoG-SiÀ¸·Î ¹Ù·Î »ç¿ë °¡´ÉÇÑ UMG Á¦Á¶°øÀåÀ» 1 ´Ü°è ±Ô¸ð·Î ÇöÀç °Ç¼³ Áß¿¡ Àִµ¥ žçÀüÁö °íÈ¿À²È Ãß¼¼¿¡ µû¶ó 6~8 N ÀÌ»óÀÇ Ç°ÁúÀÌ ¾ò¾îÁú ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¿©ºÎ¿Í °æÁ¦¼º È®ÀÎÀÌ ¼÷Á¦·Î ³²¾ÆÀÖ´Ù. (3) ÀϺ» Tokuyama»çÀÇ VLD(Vapor-to-Liquid) ¼®Ãâ°øÁ¤ : °íÁÖÆÄ¿¡³ÊÁö·Î °¡¿µÇ´Â È濬Ʃºê Ç¥¸é¿¡ Èê·¯³»¸®´Â Si ¿ëÀ¶¾× Ç¥¸é¿¡ TCS·ÎºÎÅÍ SiÀ» ¼®Ãâ½ÃÅ°´Â °³³äÀ¸·Î ³ôÀº ¼®Ãâ¿Âµµ¿¡¼ ¾ÆÁÖ ºü¸¥ Si ¼®Ãâ¼Óµµ¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖÁö¸¸ ³ôÀº C ºÒ¼ø¸ô ³óµµ¸¦ ³·Ãß¾î¾ß ÇÏ´Â °úÁ¦°¡ ³²¾Æ ÀÖ´Ù. (4) µ¶ÀÏÀÇ JSSIÀÇ MS-FBR¼®Ãâ¹ý¿¡ ÀÇÇÑ SiºÐ¸»Á¦Á¶¹ý : °¡¿µÇ´Â °üÇü¹ÝÀÀ±â(Space Reactor) ³»ºÎ·Î MS°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ°í °ð¹Ù·Î ¿ºÐÇØÇÏ¿© ¾ò¾îÁö´Â Si ºÐ¸»µéÀ» À缺ÇüÇÏ¿© SoG-Si·Î Á¦Á¶ÇÑ´Ù´Â °³³äÀ¸·Î ºÐ¸» ÈÄ󸮼ºÇüÀÌ ÇʼöÀûÀÌ°í Á¦Ç° Ãë±Þ°ú µµ°¡´Ï ¿ëÀ¶¿¡ Á¦¾àÀÌ Å« ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇØ¾ß ÇÑ´Ù. °á·Ð ºñ·Ï SoG-Si ¿ø·áºÎÁ·À¸·Î ÀÎÇÑ Si ±âÆÇ, ¼¿ ¹× ¸ðµâ°¡°Ý ÀÎÇÏ°¡ ´Ü±âÀûÀ¸·Î ÁöüµÉ °¡´É¼ºÀÌ ÀÖÁö¸¸, ž籤¹ßÀü °¡°Ý°æÀï·Â Çâ»ó ³ë·ÂÀº Áö¼ÓÀûÀ¸·Î °è¼ÓµÉ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù. ¹ßÇ¥µÈ ½ÅÁõ¼³ °èȹÀ¸·Î 2010³â¿¡ Àü¼¼°è poly-Si »ý»ê±Ô¸ð°¡ ¾à 20¸¸Åæ/³â¿¡ À°¹ÚÇϸé ÇöÀçÀÇ °¡°Ý(Àå±â°ø±Þ°¡ 60~100 $/kg : ½ºÆ̽ÃÀå 100~300 $/kg)»óÀÇ ¿Ö°î»çÅ°¡ Á¤»óȵǰųª Á¦Á¶¿ø°¡¼öÁØ(30~40 $/kg)·ÎÀÇ °¡°ÝÆø¶ôÀÌ ½±°Ô ¿¹»óµÇ±âµµ ÇÑ´Ù. ±×·¯³ª, SoG-Si °ø±ÞÈ®´ë ⇒ Si¼ÒÀç °¡°ÝÇ϶ô ⇒ ¼¿, ¸ðµâ Á¦Á¶ ¹× ¼³Ä¡ºñ¿ë Ç϶ô ⇒ ž籤¹ßÀü´Ü°¡ Ç϶ô ⇒ ž籤¹ßÀü °æÁ¦¼ºÁõ°¡ ¹× ¼ö¿äÈ®´ë ⇒ ¼¿ ¹× ¸ðµâ Á¦Á¶¼³ºñ Áõ¼³ ⇒ SoG-Si ¼ö¿ä Áõ´ë ⇒ SoG-Si °ø±ÞºÎÁ· ¹× °¡°Ý»ó½Â ⇒ SoG-Si Á¦Á¶°øÀå Áõ¼³/½Å±Ô°Ç¼³ ⇒ SoG-Si °ø±ÞÈ®´ëÀÇ »çÀÌŬÀÌ ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î ÀÌ·ç¾îÁú °¡´É¼ºµµ Å©´Ù. ±×·¯¹Ç·Î SoG-Si Á¦Á¶°øÀå ½ÅÁõ¼³Àº ž籤¹ßÀü»ê¾÷ÀÇ ¹ßÀü°ú ´õºÒ¾î ²ÙÁØÈ÷ Áö¼ÓµÉ °ÍÀÌ°í °íÇ°ÁúÀÇ SoG-SiÀ» º¸´Ù °ª½Î°Ô Á¦Á¶Çϱâ À§ÇÑ ±â¼ú°³¹ß ³ë·Âµµ ÇÑÃþ °¡¼Ó鵃 °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ÃÖ±Ù Áß±¹, Çѱ¹, ·¯½Ã¾Æ, ÇÁ¶û½º, µ¶ÀÏ, ÀϺ» µî ¸¹Àº ½Å±Ô¾÷üµéÀÌ poly-Si °øÀå°Ç¼³ ¹× Áõ¼³À» °æÀïÀûÀ¸·Î µµ¸ðÇÏ°í Àִµ¥ Á¦ÇÑµÈ ±â¼úÀÚ¹® ¹× ¼³ºñ°ø±Þ¾÷ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇؾßÇÏ´Â ÀÌµé ¾÷üµéÀº ±âÁ¸ ¸ÞÀÌÀúµéº¸´Ù µÚ¶³¾îÁø TCS-Siemens¹ý¿¡ ÀÇÁ¸ÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø¾î ±âº»ÀûÀ¸·Î ÅõÀÚºñ ¹× Á¦Á¶¿ø°¡ ¸é¿¡¼ ºÒ¸®ÇÏ´Ù. ±×·³¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ž籤¹ßÀü º¸±ÞÀÌ ±â´ë ÀÌ»óÀ¸·Î È®´ëµÇ¸é¼ SoG-Si °ø±ÞºÎÁ·ÀÌ Áö¼ÓµÇ¾î ÅõÀÚȸ¼ö±â°£ÀÌ Âª¾Æ ºÎÁ·ÇÑ °æÀï·Â¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í »ç¾÷¼º ¸é¿¡¼ ¹®Á¦µÇÁö ¾ÊÀ» °¡´É¼ºµµ ³ô´Ù. ¸¸¾à ÇöÀçÀÇ SoG-Si °ø±ÞÀÚÁß½ÉÀÇ ½ÃÀå ȯ°æÀÌ ±Þº¯ÇÏ¿© Ä¡¿ÇÑ °¡°Ý°æÀï ´Ü°è·Î ÁøÀÔÇÑ´Ù¸é ±â¼ú ¹× °¡°Ý °æÀï·ÂÀ» °®Ãá, »ýÁ¸ °¡´ÉÇÑ poly-Si Á¦Á¶¾÷üÀÇ ¿Á¼®ÀÌ °¡·ÁÁú °ÍÀÌ ºÐ¸íÇÑ ¹Ù, ±â¼úÀû ´ëÀÀÀü·« ¸¶·ÃÀº ½Å±Ô¾÷ü¿¡°Ô ´øÁ®Áø Áß¿äÇÑ °úÁ¦ÀÌ´Ù.
<Energy News>
|
|