 아이지, 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 공급 본격화 반도체 공정 실습 교육에 활용…현장형 반도체 인재 양성 첨단기술교육 전문기업 ㈜아이지는 반도체 플라즈마 공정에 대한 전반적인 요소기술을 실습할 수 있는 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발에 성공해 본격적인 공급에 나섰다.
반도체 제조 라인에서 플라즈마 공정이 중요한 역할을 하는 만큼, 반도체 공정 교육 실습 현장에서 플라즈마 응용 실습은 빼놓을 수 없는 과제다. 아이지가 이번에 개발한 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 공정 설계와 함께 제어 실습까지 가능한 교육 장비로, 반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 다양한 운영 실습을 지원한다. 또 반도체 플라즈마 공정의 프로세스 장치를 제어하는 컨트롤 솔루션을 제공하며, 제어 소프트웨어 솔루션 및 제어기를 지원하고, 반도체 구성 모듈(RF Generator, Throttle Valve 등)과의 EtherNET 및 RS-232 통신 제어가 가능하다. 게다가 공정에서 취득한 데이터를 저장 및 관리하는 데이터 서버와 연계해 운용할 수 있으며, 리얼 시스템과 가상 시스템을 상호 연계한 운용도 지원한다.
이 장비를 통해 ▶웨이퍼 표면을 정리하고 활성화시켜 다음 공정 단계에 대한 접착력을 증가시키는 기능 ▶웨이퍼의 특정 부분을 선택적으로 제거해 원하는 패턴을 형성하는 에칭 기능 ▶플라즈마를 이용해 다양한 물질을 웨이퍼 표면에 얇은 층으로 증착하는 기능 ▶플라즈마로 웨이퍼 표면의 성질을 변화시켜 전기적·화학적 특성을 개선하는 표면 개질 기능 ▶웨이퍼 상의 불순물을 제거해 고도의 청정도를 유지하는 클리닝 기능 등을 구현함으로써 반도체 플라즈마 공정의 다양한 기능을 실습할 수 있다.
·반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 운영 실습 지원 ·반도체 플라즈마 공정의 프로세스 장치를 제어하는 컨트롤 솔루션 제공 ·반도체 구성 모듈과의 EtherNET 및 RS-232 통신 제어 가능
아이지 1644-3263
<Energy News>
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