»õ·Î¿î ³ì»ö¿¡³ÊÁö, ¹Ú¸·Çü žçÀüÁö°¡ ¶á´Ù | |
2009-10-09 | |
ž籤¹ßÀüÀº °¢±¹ Á¤ºÎÀÇ Àû±ØÀûÀÎ Áö¿øÁ¤Ã¥À¸·Î ÃÖ±Ù 2~3³â »çÀÌ¿¡ ¼¼°è½ÃÀå¿¡¼ 30% ÀÌ»óÀÇ ºü¸¥ ¼ºÀåÀ» º¸À̰í ÀÖ´Â ºÐ¾ßÀÌ´Ù. ÇöÀç 1¼¼´ë °áÁ¤Çü SižçÀüÁö´Â ³ôÀº ¿¡³ÊÁö Àüȯ È¿À²°ú ¾ÈÁ¤µÈ ¼º´ÉÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î 90%ÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²À» Â÷ÁöÇϰí ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¿øÀç·áÀÎ Æú¸®½Ç¸®ÄÜÀÇ ºÎÁ· Çö»ó°ú ´Ù¸¥ ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö¿¡ ºñÇØ ¼ö¹è ÀÌ»óÀ̳ª ³ôÀº °áÁ¤Çü Si žçÀüÁöÀÇ Á¦Á¶ ´Ü°¡·Î ÀÎÇØ ºü¸£°Ô º¸±ÞµÇ±â´Â ¾î·Á¿î ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù.
ƯÇãû(ûÀå °íÁ¤½Ä)¿¡ µû¸£¸é, Áö³ 14³â°£(1995~2008) ¹ÝµµÃ¼ ¡¤ LCD ÁõÂø±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ ¹Ú¸·Çü Si žçÀüÁöÀÇ ±¹³» ƯÇãÃâ¿ø(½Ç¿ë½Å¾È Æ÷ÇÔ)Àº ÃÑ 707°ÇÀ̾ú´Ù. ¿øÀÚÃþ ÁõÂø(ALD)À» Æ÷ÇÔÇÑ ÈÇÐÀû ±â»ó ÁõÂø(CVD)°ú ½ºÆÛÅÍ, Áø°ø Áõ¹ß¹ýÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ¹°¸®Àû ±â»ó ÁõÂø(PVD)Àº °¢°¢ 134°Ç°ú 112°ÇÀ¸·Î °ÅÀÇ ºñ½ÁÇÑ ºñÀ²·Î Ãâ¿øµÆ´Ù. CVD¿¡ °üÇÑ Ãâ¿øÀº 1995³â ÃʱâºÎÅÍ ÇöÀç±îÁö ²ÙÁØÈ÷ À̾îÁ® ¿ÔÀ¸¸ç, PVD´Â ºñ±³Àû 2003³â ÀÌÈĺÎÅÍ Ãâ¿øÀÌ Áõ°¡Çϱ⠽ÃÀÛÇÏ¿© 2006³â¿¡ ±Þ°ÝÇÑ »ó½Â¼¼¸¦ ³ªÅ¸³Â´Ù. ÀÌ´Â ÀüÅëÀûÀ¸·Î CVD¸¦ Àû¿ëÇß´ø Si ±¤È°¼º¸· ÁõÂø¿¡ ´ëÇÑ Ãâ¿ø ¿Ü¿¡µµ ÃÖ±Ù¿¡´Â PVD¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÆÐÅÏ Çü¼º, ¸ðµâÈ, Ç¥¸é ó¸®, ¿¡Äª ¹× Àü±Ø ¡¤ Àüµµ¸· Çü¼º°ú °°Àº žçÀüÁöÀÇ ´Ù¸¥ ºÎ´ë ¿ä¼Ò¿¡ ´ëÇÑ Ãâ¿øÀÌ Áõ°¡Ç߱⠶§¹®ÀÌ´Ù(<Ç¥>ÂüÁ¶). ¾ÆÁ÷ ´ëºÎºÐÀÇ ¾÷ü´Â 1¼¼´ë °áÁ¤Çü ½Ç¸®ÄÜ ¼ÒÀçºÐ¾ß¿¡ ÁýÁߵǾî ÀÖÁö¸¸, ž籤¹ßÀü »ê¾÷ÀÇ ±Þ°ÝÇÑ È®Àå¿¡ µû¶ó ¸ÓÁö¾Ê¾Æ ¹Ú¸·Çü Si žçÀüÁö¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¹Ú¸·Çü žçÀüÁöÀÇ »ó¿ëȰ¡ ÀÌ·ïÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù. žçÀüÁö »ê¾÷À» À°¼ºÇϱâ À§ÇÑ Á¤ºÎÀÇ Áö¿øµµ Å©°Ô È®´ëµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. Áö½Ä°æÁ¦ºÎ´Â ±×¸°¿¡³ÊÁö Àü·«·Îµå¸Ê(¾È)À» ÅëÇØ ¿À´Â 2012³â±îÁö 3398¾ï ¿øÀ» ÅõÀÚÇϱâ·Î Çß´Ù. Àå±âÀûÀ¸·Î´Â °áÁ¤Çü ¹ÝµµÃ¼ žçÀüÁö¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î Çϰí, Â÷¼¼´ë ¹Ú¸·Çü žçÀüÁö·Î ´Ù°¢ÈÇÏ´Â ¹æÇâÀ¸·Î ¼³Á¤µÆ´Ù. µû¶ó¼ ¾ÕÀ¸·Îµµ °ü·Ã ±â¼ú °³¹ß ¹× ƯÇãÃâ¿øÀÌ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. <ÀÚ·áÁ¦°ø: ƯÇãû> ![]() ![]() < Energy News > |
|